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qazbnm

铁虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 240.6
散金: 28
帖子: 108
在线: 26.5小时
虫号: 2996367
注册: 2014-02-26
专业: 玻璃材料

[交流] 磁控溅射通氢气容易爆炸吗？

如题？本人想做氢化纳米硅薄膜，但不知网机器里面通氢气有没有爆炸危险？还有，磁控溅射机的维持泵一直在从舱里往外面抽气，那氢气不就被抽出来了吗？那是不是更有危险？氢气的同期速度最大为30ml/min。

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1楼 2014-12-22 17:36:17

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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

应助: 20282 (院士)
金币: 146788
红花: 1374
帖子: 93091
在线: 7695小时
虫号: 1482829
注册: 2011-11-08
性别: GG
专业: 功能陶瓷

★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
qazbnm: 金币+2 2014-12-23 21:24:20

应该不会爆炸。氢气在空气中的爆炸范围为: [H2]=4%~76%。溅射室中氢气的气压极低，只有零点几个到1两个帕，又不存在氧气，因此不会爆炸。

赞一下(1人)

2楼2014-12-22 22:08:24

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