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[交流]
磁控溅射电阻真空计的问题
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| 实验室的磁控溅射用的是沈阳科仪的设备，JPD—450.一个电离真空计，一个电阻真空计，低于1.0Pa我使用电离真空计，高于1.0Pa使用电阻真空计，但是我想调到1.2Pa的工作气压，为什么一直调不了，电阻真空计一直跳动，1.2、1.4，1.0.就这样一直变话，调了一个小时还是那样，为什么会那样，难道是因该用电离真空计，还是电阻真空计坏了，不准了，还是要调零？？？已经做了4,5个样了，还是那样，各位大侠来交流一下吧，小弟第一次使用，请多多请教。 |
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2014-07-28 22:25
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2014-07-28 22:34
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