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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » 磁控溅射电阻真空计的问题
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荣哥537

金虫 (正式写手)

[交流] 磁控溅射电阻真空计的问题

实验室的磁控溅射用的是沈阳科仪的设备，JPD—450.一个电离真空计，一个电阻真空计，低于1.0Pa我使用电离真空计，高于1.0Pa使用电阻真空计，但是我想调到1.2Pa的工作气压，为什么一直调不了，电阻真空计一直跳动，1.2、1.4，1.0.就这样一直变话，调了一个小时还是那样，为什么会那样，难道是因该用电离真空计，还是电阻真空计坏了，不准了，还是要调零？？？已经做了4,5个样了，还是那样，各位大侠来交流一下吧，小弟第一次使用，请多多请教。
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1楼 2014-07-28 22:24:47
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
楼主以真空度为划分真空计的使用依据有什么科学依据吗？

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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23楼2014-07-29 06:08:26
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