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荣哥537

金虫 (正式写手)


[交流] 磁控溅射电阻真空计的问题

实验室的磁控溅射用的是沈阳科仪的设备,JPD—450.一个电离真空计,一个电阻真空计,低于1.0Pa我使用电离真空计,高于1.0Pa使用电阻真空计,但是我想调到1.2Pa的工作气压,为什么一直调不了,电阻真空计一直跳动,1.2、1.4,1.0.就这样一直变话,调了一个小时还是那样,为什么会那样,难道是因该用电离真空计,还是电阻真空计坏了,不准了,还是要调零???已经做了4,5个样了,还是那样,各位大侠来交流一下吧,小弟第一次使用,请多多请教。
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yuanyeguhong

至尊木虫 (文坛精英)



荣哥537(金币+1): 谢谢参与
得金币了,说声谢谢!
3楼2014-07-28 22:26:23
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jijicheng88

金虫 (正式写手)



荣哥537(金币+1): 谢谢参与
一般抽到基底真空度后点一下手动,然后调节G阀来调气压大小
溅射氧化物的时候气压比较难调一点 有时会经常波动 要有点耐心啊
5楼2014-07-28 22:35:51
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pzx10042楼
2014-07-28 22:25   回复  
荣哥537(金币+1): 谢谢参与
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