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[交流]
磁控溅射电阻真空计的问题
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| 实验室的磁控溅射用的是沈阳科仪的设备,JPD—450.一个电离真空计,一个电阻真空计,低于1.0Pa我使用电离真空计,高于1.0Pa使用电阻真空计,但是我想调到1.2Pa的工作气压,为什么一直调不了,电阻真空计一直跳动,1.2、1.4,1.0.就这样一直变话,调了一个小时还是那样,为什么会那样,难道是因该用电离真空计,还是电阻真空计坏了,不准了,还是要调零???已经做了4,5个样了,还是那样,各位大侠来交流一下吧,小弟第一次使用,请多多请教。 |
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pzx10042楼
2014-07-28 22:25
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2014-07-28 22:34
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tableman7楼
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momo13511楼
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