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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » 磁控溅射电阻真空计的问题
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荣哥537

金虫 (正式写手)

[交流] 磁控溅射电阻真空计的问题

实验室的磁控溅射用的是沈阳科仪的设备，JPD—450.一个电离真空计，一个电阻真空计，低于1.0Pa我使用电离真空计，高于1.0Pa使用电阻真空计，但是我想调到1.2Pa的工作气压，为什么一直调不了，电阻真空计一直跳动，1.2、1.4，1.0.就这样一直变话，调了一个小时还是那样，为什么会那样，难道是因该用电离真空计，还是电阻真空计坏了，不准了，还是要调零？？？已经做了4,5个样了，还是那样，各位大侠来交流一下吧，小弟第一次使用，请多多请教。
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1楼 2014-07-28 22:24:47
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咖啡路

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
用的也是沈科仪，过来学习。
PS：最近质量流量计出问题了，有氩气进去，但流量计上显示仍为零，求解答？
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25楼2014-08-21 11:42:26
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yuanyeguhong

至尊木虫 (文坛精英)
★
荣哥537(金币+1): 谢谢参与
得金币了，说声谢谢！
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3楼2014-07-28 22:26:23
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jijicheng88

金虫 (正式写手)
★
荣哥537(金币+1): 谢谢参与
一般抽到基底真空度后点一下手动，然后调节G阀来调气压大小
溅射氧化物的时候气压比较难调一点 有时会经常波动 要有点耐心啊
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5楼2014-07-28 22:35:51
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pzx10042楼
2014-07-28 22:25   回复  
荣哥537(金币+1): 谢谢参与
祝福 [ 发自小木虫客户端 ]
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