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磁控溅射电阻真空计的问题
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荣哥537
金虫
(正式写手)
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(幼儿园)
金币: 689.8
帖子: 337
在线: 257.8小时
虫号: 997741
[交流]
磁控溅射电阻真空计的问题
实验室的磁控溅射用的是沈阳科仪的设备,JPD—450.一个电离真空计,一个电阻真空计,低于1.0Pa我使用电离真空计,高于1.0Pa使用电阻真空计,但是我想调到1.2Pa的工作气压,为什么一直调不了,电阻真空计一直跳动,1.2、1.4,1.0.就这样一直变话,调了一个小时还是那样,为什么会那样,难道是因该用电离真空计,还是电阻真空计坏了,不准了,还是要调零???已经做了4,5个样了,还是那样,各位大侠来交流一下吧,小弟第一次使用,请多多请教。
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2014-07-28 22:24:47
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铁虫
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荣哥537(金币+1): 谢谢参与
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12楼
2014-07-28 23:01:46
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