| 查看: 2879 | 回复: 9 | ||||
[求助]
做射频磁控溅射的金属铟靶材短路，融化了 已有5人参与
|
我做射频磁控溅射时，金属铟靶材和外壳短路了，造成了金属铟靶材融化了一个洞。有个这个洞，导致这块靶材再使用时，就会把后面的金属铜溅射出来。有了铜离子。不知道各位大侠，有没有办法，让这个靶材能继续使用，又不会让后面的铜被溅射出来啊？不知道如果放张纸，行不行？纸会被溅射下来么？下面有靶材的图片。这个靶材挺贵的，不想因为这个小孔就变成了废靶。 IMG_20140713_143544.jpg |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 真空镀膜类技术资料 |
» 猜你喜欢
材料与化工085600，总分304，本科有两篇sci参与，求调剂
已经有9人回复
-
求调剂推荐 材料 304
已经有6人回复
-
315调剂
已经有4人回复
-
一志愿哈尔滨工业大学材料与化工方向336分
已经有3人回复
-
0856材料化工调剂 总分330
已经有6人回复
-
085600，材料与化工321分，求调剂
已经有5人回复
-
275求调剂
已经有3人回复
-
材料292调剂
已经有10人回复
-
求调剂323材料与化工
已经有7人回复
-
材料与化工考研调剂
已经有15人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 磁控溅射底座与腔体短路了 怎么解决
已经有9人回复
- 关于磁控溅射用的靶材方面的书籍
已经有22人回复
- 请教一个关于磁控溅射的问题 在靶材上贴片
已经有16人回复
- 求教一个磁控溅射的问题 相同的靶材溅射出的膜质量却不一样！
已经有13人回复
- 关于金属靶磁控溅射问题
已经有13人回复
- 射频磁控溅射后为什么靶材表面有黑膜和彩色光圈
已经有33人回复
- 射频磁控溅射陶瓷靶材开裂
已经有18人回复
- 磁控溅射中的双靶共溅射，如何通过调整两个靶材的溅射功率控制掺杂量？
已经有20人回复
- 磁控溅射换靶材之后功率变化很大？
已经有8人回复
- 磁控溅射 射频电源 不能起辉（谢谢）
已经有20人回复
- [求助]磁控溅射制备SiN，用的是射频电源，有辉光，但溅射不上
已经有11人回复
- 直流磁控溅射NiFe合金靶材厚度应为多少啊？
已经有7人回复
- 关于磁控溅射靶材的颗粒
已经有10人回复
- 射频磁控溅射ZAO陶瓷靶时遇到的一些问题
已经有10人回复
- 直流磁控溅射 溅射无法起弧 靶材刻蚀严重
已经有13人回复
- 求助：反应磁控溅射制备氮化铬薄膜，靶电源用DC还是RF好呢？
已经有9人回复
- 射频磁控溅射镀金属靶材如何建立自偏压？
已经有5人回复
- 磁控溅射靶材bondig
已经有14人回复
- 【求助】射频磁控溅射的靶材一般能用几次？或者多久？
已经有9人回复
- 【交流】磁控溅射中如何避免mask(靶材支架和挡板）被溅射
已经有13人回复
- 【求助】磁控溅射靶材的磁性强弱对溅射的影响
已经有3人回复
- 【求助】磁控溅射靶材与衬底的距离
已经有20人回复
pptang
荣誉版主 (著名写手)
- 应助: 11 (小学生)
- 贵宾: 3.85
- 金币: 1851.9
- 散金: 3463
- 红花: 4
- 帖子: 2336
- 在线: 332.2小时
- 虫号: 67
- 注册: 2003-03-01
- 性别: GG
- 专业: 电工材料特性及其应用
- 管辖: 论文翻译
2楼2014-07-13 19:35:30
3楼2014-07-13 19:42:13
4楼2014-07-14 07:30:37
huihui2eat
银虫 (小有名气)
- 应助: 15 (小学生)
- 金币: 709.3
- 散金: 70
- 帖子: 184
- 在线: 66.2小时
- 虫号: 3318737
- 注册: 2014-07-11
- 专业: 等离子体物理
5楼2014-07-14 08:47:51
leongoall
专家顾问 (知名作家)
P-M-I之初生牛犊
- 应助: 144 (高中生)
- 贵宾: 0.055
- 金币: 7602.7
- 散金: 627
- 红花: 35
- 沙发: 3
- 帖子: 5347
- 在线: 1063小时
- 虫号: 490263
- 注册: 2008-01-03
- 性别: GG
- 专业: 等离子体物理
- 管辖: 物理
6楼2014-07-14 14:29:23
pptang
荣誉版主 (著名写手)
- 应助: 11 (小学生)
- 贵宾: 3.85
- 金币: 1851.9
- 散金: 3463
- 红花: 4
- 帖子: 2336
- 在线: 332.2小时
- 虫号: 67
- 注册: 2003-03-01
- 性别: GG
- 专业: 电工材料特性及其应用
- 管辖: 论文翻译
7楼2014-07-14 20:32:22
hbc1234
木虫 (小有名气)
- 应助: 46 (小学生)
- 金币: 4522.4
- 红花: 5
- 帖子: 271
- 在线: 182.5小时
- 虫号: 1105218
- 注册: 2010-09-21
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
8楼2014-07-17 15:57:16
Smallpeng
木虫 (正式写手)
- 应助: 38 (小学生)
- 金币: 3378.7
- 散金: 303
- 红花: 2
- 帖子: 982
- 在线: 701.7小时
- 虫号: 754345
- 注册: 2009-04-21
- 性别: GG
- 专业: 金属功能材料
9楼2014-07-28 22:01:41
10楼2014-10-08 11:37:54
20