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wjy_421

新虫 (小有名气)

[求助] 做射频磁控溅射的金属铟靶材短路，融化了 已有5人参与

我做射频磁控溅射时，金属铟靶材和外壳短路了，造成了金属铟靶材融化了一个洞。有个这个洞，导致这块靶材再使用时，就会把后面的金属铜溅射出来。有了铜离子。不知道各位大侠，有没有办法，让这个靶材能继续使用，又不会让后面的铜被溅射出来啊？不知道如果放张纸，行不行？纸会被溅射下来么？下面有靶材的图片。这个靶材挺贵的，不想因为这个小孔就变成了废靶。

做射频磁控溅射的金属铟靶材短路，融化了
IMG_20140713_143544.jpg
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1楼 2014-07-13 14:40:18
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leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
楼主放纸的想法太离谱，后面的铜都能溅射出来，纸在那有啥用呢？

自己补所需要的成本和技术估计不比买块新的来的更切实际，能否找你之前镀的厚一点的铟膜放后面呢，或者找些铟的薄片放后面，至于影响溅射效果估计不大，因为你基底是旋转的，所以均匀性应该不用担心，当然，实际溅射速率应该会稍微降低，毕竟你被溅射的面积也小了！
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趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
6楼2014-07-14 14:29:23
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pptang

荣誉版主 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
wjy_421: 金币+5, ★有帮助 2014-07-14 13:42:51
这么大洞，换靶吧。实在不行买些铟给补上这个洞，花不多少钱。放纸肯定不靠谱。
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您的支持，是我的动力！！！
2楼2014-07-13 19:35:30
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wjy_421

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by pptang at 2014-07-13 19:35:30
这么大洞，换靶吧。实在不行买些铟给补上这个洞，花不多少钱。放纸肯定不靠谱。

关键自己补不上了，一加热高温就氧化了，变成氧化铟了啊
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3楼2014-07-13 19:42:13
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wjy_421

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by pptang at 2014-07-13 19:35:30
这么大洞，换靶吧。实在不行买些铟给补上这个洞，花不多少钱。放纸肯定不靠谱。

我能不能买个比洞大一圈的金属铟片片放在它的后面，然后一起放在靶头上面，这样铜就不会被溅射下来了。有一个问题是，它们就不在同一个平面上了，虽然不会掉下来，可是不知道会不会影响溅射效果。你知道么？
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4楼2014-07-14 07:30:37
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