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wjy_421

新虫 (小有名气)

[求助] 做射频磁控溅射的金属铟靶材短路,融化了 已有5人参与

我做射频磁控溅射时,金属铟靶材和外壳短路了,造成了金属铟靶材融化了一个洞。有个这个洞,导致这块靶材再使用时,就会把后面的金属铜溅射出来。有了铜离子。不知道各位大侠,有没有办法,让这个靶材能继续使用,又不会让后面的铜被溅射出来啊?不知道如果放张纸,行不行?纸会被溅射下来么?下面有靶材的图片。这个靶材挺贵的,不想因为这个小孔就变成了废靶。

做射频磁控溅射的金属铟靶材短路,融化了
IMG_20140713_143544.jpg
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Smallpeng

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

最好还是换了吧 你自己补的话 万一会影响到实验结果呢 IN靶应该不贵吧
勇敢自信踏实,科研其实和生活是一样一样的
9楼2014-07-28 22:01:41
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pptang

荣誉版主 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
wjy_421: 金币+5, 有帮助 2014-07-14 13:42:51
这么大洞,换靶吧。实在不行买些铟给补上这个洞,花不多少钱。放纸肯定不靠谱。
您的支持,是我的动力!!!
2楼2014-07-13 19:35:30
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wjy_421

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by pptang at 2014-07-13 19:35:30
这么大洞,换靶吧。实在不行买些铟给补上这个洞,花不多少钱。放纸肯定不靠谱。

关键自己补不上了,一加热高温就氧化了,变成氧化铟了啊
当你站在高处时能让别人看清你,当你跌落低谷时,你能看清所有人
3楼2014-07-13 19:42:13
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wjy_421

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by pptang at 2014-07-13 19:35:30
这么大洞,换靶吧。实在不行买些铟给补上这个洞,花不多少钱。放纸肯定不靠谱。

我能不能买个比洞大一圈的金属铟片片放在它的后面,然后一起放在靶头上面,这样铜就不会被溅射下来了。有一个问题是,它们就不在同一个平面上了,虽然不会掉下来,可是不知道会不会影响溅射效果。你知道么?
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4楼2014-07-14 07:30:37
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