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做射频磁控溅射的金属铟靶材短路，融化了 已有5人参与
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我做射频磁控溅射时，金属铟靶材和外壳短路了，造成了金属铟靶材融化了一个洞。有个这个洞，导致这块靶材再使用时，就会把后面的金属铜溅射出来。有了铜离子。不知道各位大侠，有没有办法，让这个靶材能继续使用，又不会让后面的铜被溅射出来啊？不知道如果放张纸，行不行？纸会被溅射下来么？下面有靶材的图片。这个靶材挺贵的，不想因为这个小孔就变成了废靶。 IMG_20140713_143544.jpg |
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Smallpeng
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9楼2014-07-28 22:01:41
pptang
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