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wjy_421

新虫 (小有名气)

[求助] 做射频磁控溅射的金属铟靶材短路，融化了 已有5人参与

我做射频磁控溅射时，金属铟靶材和外壳短路了，造成了金属铟靶材融化了一个洞。有个这个洞，导致这块靶材再使用时，就会把后面的金属铜溅射出来。有了铜离子。不知道各位大侠，有没有办法，让这个靶材能继续使用，又不会让后面的铜被溅射出来啊？不知道如果放张纸，行不行？纸会被溅射下来么？下面有靶材的图片。这个靶材挺贵的，不想因为这个小孔就变成了废靶。

做射频磁控溅射的金属铟靶材短路，融化了
IMG_20140713_143544.jpg
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1楼 2014-07-13 14:40:18
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hbc1234

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

这样的靶肯定不能用了，而且自己修复也难道较大。我觉得可以联系做靶的厂家修复这块靶，应该会比买新靶便宜一些
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8楼2014-07-17 15:57:16
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pptang

荣誉版主 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
wjy_421: 金币+5, ★有帮助 2014-07-14 13:42:51
这么大洞，换靶吧。实在不行买些铟给补上这个洞，花不多少钱。放纸肯定不靠谱。
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您的支持，是我的动力！！！
2楼2014-07-13 19:35:30
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wjy_421

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by pptang at 2014-07-13 19:35:30
这么大洞，换靶吧。实在不行买些铟给补上这个洞，花不多少钱。放纸肯定不靠谱。

关键自己补不上了，一加热高温就氧化了，变成氧化铟了啊
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3楼2014-07-13 19:42:13
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wjy_421

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by pptang at 2014-07-13 19:35:30
这么大洞，换靶吧。实在不行买些铟给补上这个洞，花不多少钱。放纸肯定不靠谱。

我能不能买个比洞大一圈的金属铟片片放在它的后面，然后一起放在靶头上面，这样铜就不会被溅射下来了。有一个问题是，它们就不在同一个平面上了，虽然不会掉下来，可是不知道会不会影响溅射效果。你知道么？
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4楼2014-07-14 07:30:37
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