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踩不扁的小强

铁虫 (小有名气)

[交流] 磁控溅射蒸镀硅薄膜遇到的问题 已有1人参与

用磁控溅射蒸镀硅薄膜过程中,用射频交流档,设置功率150W,时间2400S,最后样品取出来后,表面出现大的裂纹,甚至出现沙粒状,与正常的均匀致密薄膜相差甚远。请教各位虫友,哪些因素会导致这种情况?之前,工程师猜测可能是基片衬底没有清洗干净,但是连续两次实验都出现了这种情况。
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Smallpeng

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
出现裂纹,一般是薄膜与基片结合力不好或者存在较大应力造成的,薄膜过厚、基片不干净、温度过高等等均可能造成开裂
勇敢自信踏实,科研其实和生活是一样一样的
2楼2014-07-08 14:58:46
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踩不扁的小强

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by Smallpeng at 2014-07-08 14:58:46
出现裂纹,一般是薄膜与基片结合力不好或者存在较大应力造成的,薄膜过厚、基片不干净、温度过高等等均可能造成开裂

我们做实验时没有给基底加热,看来应该是薄膜过厚的原因了。谢谢,我们再试验下看看。
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3楼2014-07-09 22:30:04
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