| 查看: 2063 | 回复: 8 | ||||
[求助]
磁控溅射薄膜被氧化已有1人参与
|
做了好久磁控溅射，镀出的膜一直被氧化 ，求各位大虾帮忙分下一下。。以下是一些信息： 1.靶材成分：FeCo 2.背景真空度：1*10e-4 ~ 5*10e-4 Pa 3.溅射气压：0.3Pa 4.直流溅射功率：60W 时间：1h 5.靶材成分正常 6.仪器捡漏正常，每次溅射都会预溅射10min，镀完后有冷却 7.因为以后要用到共溅射，故与二氧化硅同一个腔体，以前也溅射过二氧化硅，不知道有没有影响 做了好久，实在是这个问题解决不了  ，求做磁控溅射的高手点拨下。。。谢谢！！ |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 磁控溅射靶材资料大全 | PVD镀膜类技术资料 |
» 猜你喜欢
求助论文两次小修后依然送审的建议
已经有8人回复
-
矿业工程（矿物加工工程学硕）和资源环境工程
已经有0人回复
-
无机非金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有52人回复
-
一志愿西北农林控制工程，希望能调剂成功
已经有0人回复
-
结晶态硅酸钠中硅含量测定
已经有2人回复
-
硅肥中硅含量测定
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
磁控溅射ZnO薄膜电阻太大
已经有19人回复- 磁控溅射制备氮化铟薄膜
已经有5人回复
- 磁控溅射镀制非晶膜的基底材料，除了Si基底，还可以用什么？
已经有3人回复
- 磁控溅射可以连续溅射多久，以及氧化铪工艺
已经有12人回复
- 磁控溅射镀不上去膜！！
已经有14人回复
- 直流脉冲磁控溅射镀硅膜阳极掉渣严重
已经有17人回复
- 拉曼光谱仪测试磁控溅射薄膜求教
已经有17人回复
- 磁控溅射ZnO薄膜 真空室污染严重 壁上和底部有好多红蓝条纹
已经有15人回复
- 求助：反应磁控溅射制备氮化铬薄膜，靶电源用DC还是RF好呢？
已经有9人回复
- 磁控溅射做薄膜失败了吗
已经有21人回复
- 求助关于磁控溅射的问题
已经有29人回复
- 磁控溅射与反应磁控溅射
已经有18人回复
- 直流磁控溅射镀膜总是被氧化
已经有42人回复
- 电子束蒸发镀膜和磁控溅射镀膜所得薄膜有什么区别？
已经有17人回复
- 磁控溅射镀氧化铝
已经有35人回复
- 磁控溅射AlN薄膜电极材料
已经有3人回复
- 【求助】射频磁控溅射镀4um厚的铝膜，颜色发白是怎么回事啊~~~
已经有8人回复
- 【求助】请教磁控溅射金属膜问题
已经有23人回复
2楼2013-12-14 15:05:05
3楼2013-12-14 15:09:36
4楼2013-12-14 15:19:27
就是这样才让我觉得很无语啊。。5楼2013-12-14 15:24:59
6楼2013-12-14 15:43:53
7楼2014-05-23 13:15:44
8楼2014-07-04 11:33:31
xingxingac
银虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1032.3
- 帖子: 62
- 在线: 115.5小时
- 虫号: 436958
- 注册: 2007-08-26
- 专业: 金属材料表面科学与工程
9楼2014-12-18 14:03:35