24小时热门版块排行榜    

查看: 2460  |  回复: 8

雨小寒

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射薄膜被氧化 已有1人参与

做了好久磁控溅射,镀出的膜一直被氧化,求各位大虾帮忙分下一下。。
以下是一些信息:
1.靶材成分:FeCo
2.背景真空度:1*10e-4 ~ 5*10e-4 Pa
3.溅射气压:0.3Pa
4.直流溅射功率:60W 时间:1h
5.靶材成分正常
6.仪器捡漏正常,每次溅射都会预溅射10min,镀完后有冷却
7.因为以后要用到共溅射,故与二氧化硅同一个腔体,以前也溅射过二氧化硅,不知道有没有影响
做了好久,实在是这个问题解决不了,求做磁控溅射的高手点拨下。。。谢谢!!
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射靶材资料大全 PVD镀膜类技术资料

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

风云无敌gk

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
雨小寒: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-12-15 10:47:47
我以前也做过磁控溅射,对于这种氧化,应该是二氧化硅中氧的影响,你试着把真空度再抽低点
一路风景,只愿与你走
2楼2013-12-14 15:05:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

雨小寒

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 风云无敌gk at 2013-12-14 15:05:05
我以前也做过磁控溅射,对于这种氧化,应该是二氧化硅中氧的影响,你试着把真空度再抽低点

我试过把真空度抽到10^-5量级的,但还是被氧化了。。如果是二氧化硅的影响,该怎么解决呢?洗腔体可以么??谢谢。。
3楼2013-12-14 15:09:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

风云无敌gk

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 雨小寒 at 2013-12-14 15:09:36
我试过把真空度抽到10^-5量级的,但还是被氧化了。。如果是二氧化硅的影响,该怎么解决呢?洗腔体可以么??谢谢。。...

可以用酒精擦洗下,同时你的基片是否经过了丙酮,酒精,超声清洗等过程,还有靶材,能不能换一下
一路风景,只愿与你走
4楼2013-12-14 15:19:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

雨小寒

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by 风云无敌gk at 2013-12-14 15:19:27
可以用酒精擦洗下,同时你的基片是否经过了丙酮,酒精,超声清洗等过程,还有靶材,能不能换一下...

靶材是全新的,经过预溅射,基片也都是经过清洗处理的。就是这样才让我觉得很无语啊。。
5楼2013-12-14 15:24:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

风云无敌gk

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by 雨小寒 at 2013-12-14 15:24:59
靶材是全新的,经过预溅射,基片也都是经过清洗处理的。就是这样才让我觉得很无语啊。。...

这样确实无语了,幸好我当初做的是氧化物,你有时间可以去研究一下这些氧的来源
一路风景,只愿与你走
6楼2013-12-14 15:43:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gaowei701

银虫 (初入文坛)

腔体能清洗下么,验证下是不是二氧化硅的影响,很有可能就是里面的二氧化硅太多了。
7楼2014-05-23 13:15:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

踩不扁的小强

铁虫 (小有名气)

有没有可能是靶材之间的交叉污染?
Likewilldrawlike!
8楼2014-07-04 11:33:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xingxingac

银虫 (小有名气)

建议两点:
1.测一下设备的压升率,极限真空和检漏都正常不一定压升率就满足要求,有的地方还是检漏检不到的;
2.以上没问题再看是否是二氧化硅中氧的影响,单独做FeCo,二氧化硅清洗干净
9楼2014-12-18 14:03:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 雨小寒 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] FileCode能看出啥? +10 要乐观耀哥 2026-08-10 32/1600 2026-08-14 09:37 by 要乐观耀哥
[基金申请] 咱们一起用铁证分析2026国家社科基金中标与否 +4 启萌科技 2026-08-12 12/600 2026-08-14 09:07 by switchoff
[基金申请] 我的国基提前知道中了,可是同事的操作让我实在接受不了,怎么会有这样的人 +10 家与远方 2026-08-10 15/750 2026-08-14 02:08 by 绵羊哥哥
[硕博家园] 一作与独作在应聘高校教师时区别大吗 +3 mbygzh 2026-08-08 4/200 2026-08-13 19:31 by 龙-樱
[基金申请] filecode +14 documentary 2026-08-10 16/800 2026-08-13 16:39 by 润生71
[基金申请] 重要来源:本周末出结果 +10 瞬息宇宙 2026-08-12 10/500 2026-08-13 15:46 by likettle
[基金申请] 分享一下我之前已中青C的计划书的filecode +4 布布和一二 2026-08-11 5/250 2026-08-13 12:56 by cratir
[基金申请] 结合人工智能,周易传统文化,filecode打分制来了,3分以上希望很大。 +3 Tide man 2026-08-12 4/200 2026-08-13 08:35 by ZJTJZ
[基金申请] 应该是93bebmhtak前后十一个字符比较关键 +22 Lanmanbaby 2026-08-09 36/1800 2026-08-12 22:50 by sdfapple719
[基金申请] 好奇怪的filecode +5 布布和一二 2026-08-08 6/300 2026-08-12 16:11 by 云上清扬
[论文投稿] 职称评审,求友友推荐见刊最快的期刊 +4 工厂打螺丝 2026-08-08 4/200 2026-08-12 09:18 by hansi2025
[基金申请] 是这周出结果还是下周出结果? +3 yuleib84 2026-08-11 3/150 2026-08-11 21:53 by jnhyjjm
[基金申请] 帮忙看看fileCode +7 wwncly 2026-08-10 13/650 2026-08-11 19:36 by 冰心玉壶晴
[基金申请] 确定了,国自然21号放榜 +6 布布和一二 2026-08-10 7/350 2026-08-10 19:15 by 2000zf36392
[基金申请] 据悉今年马上要出结果了 +7 瞬息宇宙 2026-08-10 8/400 2026-08-10 12:42 by Vivilian
[基金申请] 2026国自然放榜时间 +9 布布和一二 2026-08-08 9/450 2026-08-10 11:22 by xxxx2020
[基金申请] fileCode有新解读? +10 Tide man 2026-08-08 18/900 2026-08-09 12:55 by 仁砚薪传
[基金申请] 关于filecode,很负责任的告诉大家 +6 爱看书的可乐 2026-08-08 7/350 2026-08-08 22:13 by a_niu
[基金申请] 化学口download_prp&fileCode的固定段好像这几天一直没变,有变的大神么? +3 Tide man 2026-08-07 4/200 2026-08-07 22:39 by Tide man
[基金申请] filecode变化情况 +6 布布和一二 2026-08-07 22/1100 2026-08-07 14:45 by 且听虎啸
信息提示
请填处理意见