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15100171258

新虫 (初入文坛)

[求助] 光刻胶研发

金属基光刻胶,加了光致产酸剂,采用的EBL光刻,光刻剂量是60uc/cm2。刻出来的图形是这样的,想知道是什么原因导致的。

光刻胶研发


光刻胶研发-1
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2楼2026-04-21 09:29:23
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