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15100171258

新虫 (初入文坛)

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[求助] 光刻胶研发

金属基光刻胶，加了光致产酸剂，采用的EBL光刻，光刻剂量是60uc/cm2。刻出来的图形是这样的，想知道是什么原因导致的。

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1楼 2026-04-20 10:11:49

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2楼2026-04-21 09:29:23

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