| 查看: 2465 | 回复: 8 | ||||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||||
[求助]
磁控溅射薄膜被氧化 已有1人参与
|
||||
做了好久磁控溅射，镀出的膜一直被氧化 ，求各位大虾帮忙分下一下。。以下是一些信息： 1.靶材成分：FeCo 2.背景真空度：1*10e-4 ~ 5*10e-4 Pa 3.溅射气压：0.3Pa 4.直流溅射功率：60W 时间：1h 5.靶材成分正常 6.仪器捡漏正常，每次溅射都会预溅射10min，镀完后有冷却 7.因为以后要用到共溅射，故与二氧化硅同一个腔体，以前也溅射过二氧化硅，不知道有没有影响 做了好久，实在是这个问题解决不了  ，求做磁控溅射的高手点拨下。。。谢谢！！ |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 磁控溅射靶材资料大全 | PVD镀膜类技术资料 |
» 猜你喜欢
考博求助
已经有0人回复
-
273求调剂
已经有4人回复
-
冶金与矿业论文润色/翻译怎么收费?
已经有182人回复
-
本科太原理工采矿工程，求调剂
已经有4人回复
-
天津城建大学材料科学与工程学院接收调剂
已经有1人回复
-
(广州)仲恺农业工程学院杨老师课题组招收调剂生，仍有名额
已经有0人回复
-
广东医科大学2026年招聘简章
已经有2人回复
-
调剂招生
已经有0人回复
-
浙江农林大学082900林业工程学科招收调剂学术型硕士
已经有0人回复
-
济南大学-先进建筑材料教育部工程研究中心-大牛团队-26届博士生申请
已经有23人回复
-
求水泥工艺学(第3版) 作者:林宗寿出版社:武汉理工大学出版社出版时间:2023年03月
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 磁控溅射ZnO薄膜电阻太大
已经有19人回复
- 磁控溅射制备氮化铟薄膜
已经有5人回复
- 磁控溅射镀制非晶膜的基底材料，除了Si基底，还可以用什么？
已经有3人回复
- 磁控溅射可以连续溅射多久，以及氧化铪工艺
已经有12人回复
- 磁控溅射镀不上去膜！！
已经有14人回复
- 直流脉冲磁控溅射镀硅膜阳极掉渣严重
已经有17人回复
- 拉曼光谱仪测试磁控溅射薄膜求教
已经有17人回复
- 磁控溅射ZnO薄膜 真空室污染严重 壁上和底部有好多红蓝条纹
已经有15人回复
- 求助：反应磁控溅射制备氮化铬薄膜，靶电源用DC还是RF好呢？
已经有9人回复
- 磁控溅射做薄膜失败了吗
已经有21人回复
- 求助关于磁控溅射的问题
已经有29人回复
- 磁控溅射与反应磁控溅射
已经有18人回复
- 直流磁控溅射镀膜总是被氧化
已经有42人回复
- 电子束蒸发镀膜和磁控溅射镀膜所得薄膜有什么区别？
已经有17人回复
- 磁控溅射镀氧化铝
已经有35人回复
- 磁控溅射AlN薄膜电极材料
已经有3人回复
- 【求助】射频磁控溅射镀4um厚的铝膜，颜色发白是怎么回事啊~~~
已经有8人回复
- 【求助】请教磁控溅射金属膜问题
已经有23人回复
xingxingac
银虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1032.3
- 帖子: 62
- 在线: 115.5小时
- 虫号: 436958
- 注册: 2007-08-26
- 专业: 金属材料表面科学与工程
9楼2014-12-18 14:03:35
2楼2013-12-14 15:05:05
3楼2013-12-14 15:09:36
4楼2013-12-14 15:19:27
