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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 磁控溅射蒸镀硅薄膜遇到的问题
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踩不扁的小强

铁虫 (小有名气)

[交流] 磁控溅射蒸镀硅薄膜遇到的问题 已有1人参与

用磁控溅射蒸镀硅薄膜过程中，用射频交流档，设置功率150W，时间2400S，最后样品取出来后，表面出现大的裂纹，甚至出现沙粒状，与正常的均匀致密薄膜相差甚远。请教各位虫友，哪些因素会导致这种情况？之前，工程师猜测可能是基片衬底没有清洗干净，但是连续两次实验都出现了这种情况。
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Likewilldrawlike!
1楼 2014-07-03 10:54:14
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Smallpeng

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
出现裂纹，一般是薄膜与基片结合力不好或者存在较大应力造成的，薄膜过厚、基片不干净、温度过高等等均可能造成开裂
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勇敢自信踏实，科研其实和生活是一样一样的
2楼2014-07-08 14:58:46
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踩不扁的小强

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by Smallpeng at 2014-07-08 14:58:46
出现裂纹，一般是薄膜与基片结合力不好或者存在较大应力造成的，薄膜过厚、基片不干净、温度过高等等均可能造成开裂

我们做实验时没有给基底加热，看来应该是薄膜过厚的原因了。谢谢，我们再试验下看看。
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Likewilldrawlike!
3楼2014-07-09 22:30:04
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