24小时热门版块排行榜    

查看: 1105  |  回复: 2

踩不扁的小强

铁虫 (小有名气)

[交流] 磁控溅射蒸镀硅薄膜遇到的问题 已有1人参与

用磁控溅射蒸镀硅薄膜过程中,用射频交流档,设置功率150W,时间2400S,最后样品取出来后,表面出现大的裂纹,甚至出现沙粒状,与正常的均匀致密薄膜相差甚远。请教各位虫友,哪些因素会导致这种情况?之前,工程师猜测可能是基片衬底没有清洗干净,但是连续两次实验都出现了这种情况。
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

Likewilldrawlike!
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Smallpeng

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
出现裂纹,一般是薄膜与基片结合力不好或者存在较大应力造成的,薄膜过厚、基片不干净、温度过高等等均可能造成开裂
勇敢自信踏实,科研其实和生活是一样一样的
2楼2014-07-08 14:58:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

踩不扁的小强

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by Smallpeng at 2014-07-08 14:58:46
出现裂纹,一般是薄膜与基片结合力不好或者存在较大应力造成的,薄膜过厚、基片不干净、温度过高等等均可能造成开裂

我们做实验时没有给基底加热,看来应该是薄膜过厚的原因了。谢谢,我们再试验下看看。
Likewilldrawlike!
3楼2014-07-09 22:30:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 踩不扁的小强 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 305分求调剂(食品工程) +4 Sxy112 2026-03-21 6/300 2026-03-22 15:26 by 无懈可击111
[考研] 一志愿北京化工大学 070300 学硕 336分 求调剂 +3 vv迷 2026-03-22 3/150 2026-03-22 15:18 by 杨杨杨紫
[考研] 一志愿中南大学化学学硕0703总分337求调剂 +3 niko- 2026-03-22 3/150 2026-03-22 15:15 by 杨杨杨紫
[考研] 生物学一志愿985,分数349求调剂 +4 zxts12 2026-03-21 7/350 2026-03-22 09:57 by zxts12
[考研] 考研调剂 +3 呼呼?~+123456 2026-03-21 3/150 2026-03-21 20:04 by 无际的草原
[考研] 求调剂 +4 要好好无聊 2026-03-21 4/200 2026-03-21 18:57 by 学员8dgXkO
[考研] 一志愿深大,0703化学,总分302,求调剂 +4 七月-七七 2026-03-21 4/200 2026-03-21 18:20 by 学员8dgXkO
[考研] 297求调剂 +11 戏精丹丹丹 2026-03-17 12/600 2026-03-21 17:47 by ColorlessPI
[考研] 313求调剂 +4 肆叁贰壹22 2026-03-19 4/200 2026-03-21 17:33 by ColorlessPI
[考研] 材料与化工(0856)304求 B区 调剂 +3 邱gl 2026-03-21 3/150 2026-03-21 13:47 by lature00
[考研] 南昌大学材料专硕311分求调剂 +6 77chaselx 2026-03-20 6/300 2026-03-21 07:24 by JourneyLucky
[考研] 083200学硕321分一志愿暨南大学求调剂 +3 innocenceF 2026-03-17 3/150 2026-03-21 02:35 by JourneyLucky
[考研] 华东师范大学-071000生物学-293分-求调剂 +3 研究生何瑶明 2026-03-18 3/150 2026-03-21 01:30 by JourneyLucky
[考研] 317求调剂 +5 申子申申 2026-03-19 9/450 2026-03-20 22:26 by JourneyLucky
[考研] 329求调剂 +9 想上学吖吖 2026-03-19 9/450 2026-03-20 22:01 by luoyongfeng
[考研] 材料与化工专硕调剂 +7 heming3743 2026-03-16 7/350 2026-03-20 19:31 by zhukairuo
[论文投稿] 申请回稿延期一个月,编辑同意了。但系统上的时间没变,给编辑又写邮件了,没回复 10+3 wangf9518 2026-03-17 4/200 2026-03-19 23:55 by babero
[考研] 本科郑州大学物理学院,一志愿华科070200学硕,346求调剂 +4 我不是一根葱 2026-03-18 4/200 2026-03-19 09:11 by 浮云166
[考研] 312求调剂 +8 陌宸希 2026-03-16 9/450 2026-03-18 12:39 by Linda Hu
[考研] 材料,纺织,生物(0856、0710),化学招生啦 +3 Eember. 2026-03-17 9/450 2026-03-18 10:28 by Eember.
信息提示
请填处理意见