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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 关于磁控溅射抽真空的问题
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wanghemei006

金虫 (正式写手)

[求助] 关于磁控溅射抽真空的问题 已有3人参与

前一天抽真空到10的负4用了两个小时不到，今天用了七个小时，求大神说说怎么回事？
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1楼 2014-06-23 16:59:03
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
wanghemei006: 金币+2, ★★★很有帮助 2014-06-24 09:12:39
前级泵抽到指定真空度的时间没有变化吧？若是，可能原因是：（1）真空有污染变质了；（2）溅射室内部存在放气的材料；（3）油温加热时间不够油扩散泵就开始运行了。
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2楼2014-06-23 18:09:33
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zhang-zhen

金虫 (职业作家)
离子泵有漏气吗?
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只有一条路不能选择--那就是放弃的路；只有一条路不能拒绝--那就是成长的路。
3楼2014-06-23 19:51:01
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cord

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
就这么一句话要求分析，能分析出来也真是大神了。
可以说是昨天你只想用不到2个小时，今天你需要用7个小时。
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4楼2014-06-24 00:37:24
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wanghemei006

金虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by zhang-zhen at 2014-06-23 19:51:01
离子泵有漏气吗?

没有  今天又比较快
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5楼2014-06-24 09:13:21
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wanghemei006

金虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by cord at 2014-06-24 00:37:24
就这么一句话要求分析，能分析出来也真是大神了。
可以说是昨天你只想用不到2个小时，今天你需要用7个小时。

嗯 以后会注意表达方式的
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6楼2014-06-24 09:14:17
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xijh

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by cord at 2014-06-24 00:37:24
就这么一句话要求分析，能分析出来也真是大神了。
可以说是昨天你只想用不到2个小时，今天你需要用7个小时。

而且lz都没说啥泵
居然就有人分析扩散泵、离子泵有问题……
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7楼2014-06-26 09:00:01
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hrhhrh

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
信息太少，不好判断。
1.漏气
2.放气
3.泵性能
逐一排查吧。
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8楼2014-06-26 09:16:32
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yingxz

木虫 (正式写手)
1）昨天天气比较湿，2）昨天开仓门时间太久
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9楼2014-06-26 10:37:18
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zhawy

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2014-06-23 18:09:33
前级泵抽到指定真空度的时间没有变化吧？若是，可能原因是：（1）真空有污染变质了；（2）溅射室内部存在放气的材料；（3）油温加热时间不够油扩散泵就开始运行了。

请问放气的材料要怎么理解啊？

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10楼2021-12-14 11:30:02
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