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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 关于磁控溅射抽真空的问题
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wanghemei006

金虫 (正式写手)

[求助] 关于磁控溅射抽真空的问题 已有3人参与

前一天抽真空到10的负4用了两个小时不到，今天用了七个小时，求大神说说怎么回事？
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1楼 2014-06-23 16:59:03
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xijh

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by cord at 2014-06-24 00:37:24
就这么一句话要求分析，能分析出来也真是大神了。
可以说是昨天你只想用不到2个小时，今天你需要用7个小时。

而且lz都没说啥泵
居然就有人分析扩散泵、离子泵有问题……
赞一下 回复此楼
7楼2014-06-26 09:00:01
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