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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 关于磁控溅射抽真空的问题
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wanghemei006

金虫 (正式写手)

[求助] 关于磁控溅射抽真空的问题 已有3人参与

前一天抽真空到10的负4用了两个小时不到，今天用了七个小时，求大神说说怎么回事？
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1楼 2014-06-23 16:59:03
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
wanghemei006: 金币+2, ★★★很有帮助 2014-06-24 09:12:39
前级泵抽到指定真空度的时间没有变化吧？若是，可能原因是：（1）真空有污染变质了；（2）溅射室内部存在放气的材料；（3）油温加热时间不够油扩散泵就开始运行了。
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2楼2014-06-23 18:09:33
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