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wanghemei006

金虫 (正式写手)

[求助] 关于磁控溅射抽真空的问题 已有3人参与

前一天抽真空到10的负4用了两个小时不到,今天用了七个小时,求大神说说怎么回事?
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hrhhrh

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
信息太少,不好判断。
1.漏气
2.放气
3.泵性能
逐一排查吧。
8楼2014-06-26 09:16:32
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
wanghemei006: 金币+2, ★★★很有帮助 2014-06-24 09:12:39
前级泵抽到指定真空度的时间没有变化吧?若是,可能原因是:(1)真空有污染变质了;(2)溅射室内部存在放气的材料;(3)油温加热时间不够油扩散泵就开始运行了。
2楼2014-06-23 18:09:33
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cord

铁杆木虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
就这么一句话要求分析,能分析出来也真是大神了。
可以说是昨天你只想用不到2个小时,今天你需要用7个小时。
4楼2014-06-24 00:37:24
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wanghemei006

金虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by zhang-zhen at 2014-06-23 19:51:01
离子泵有漏气吗?

没有  今天又比较快
5楼2014-06-24 09:13:21
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