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磁控溅射中如何用氩离子轰击基片已有9人参与
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在磁控溅射做薄膜的时候想在溅射金属之前预先用氩离子轰击基片, 请问这样如何操作, 用不用加偏压呢? 已删 [ Last edited by wmz1021 on 2017-12-11 at 21:17 ] |
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