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csa5344235木虫 (正式写手)
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磁控溅射问题
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| 在磁控溅射镀膜中，镀SiOx的时候，为什么加氧流量靶材电压就降低，降氧流量的话，靶材电压就升高？理论上如何解释？ |
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6楼2013-08-12 19:07:48
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