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csa5344235

木虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射问题

在磁控溅射镀膜中，镀SiOx的时候，为什么加氧流量靶材电压就降低，降氧流量的话，靶材电压就升高？理论上如何解释？
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1楼 2013-08-10 19:02:23
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liu2004m

荣誉版主 (文坛精英)

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【答案】应助回帖

★ ★
csa5344235: 金币+2, 博学EPI+1 2013-08-12 19:00:25
可能跟等离子体的量有关
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2楼2013-08-10 22:14:58
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ggtech

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
csa5344235: 金币+2 2013-08-12 19:00:41
SiOx镀膜迟滞回线是向右下方倾斜的，加氧向过氧态方向发展，因此电压更低；但加到一定程度就基本水平了，电压不再下降。
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gtech
3楼2013-08-11 19:33:56
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zuzu-6

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by ggtech at 2013-08-11 19:33:56
SiOx镀膜迟滞回线是向右下方倾斜的，加氧向过氧态方向发展，因此电压更低；但加到一定程度就基本水平了，电压不再下降。

与真空腔内的压力有关
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道可道，非常道。明可明，非常明。
4楼2013-08-12 09:46:13
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zuzu-6

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★
csa5344235: 金币+2 2013-08-12 19:00:53
与真空腔内的压力有关系
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道可道，非常道。明可明，非常明。
5楼2013-08-12 09:47:28
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csa5344235

木虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by ggtech at 2013-08-11 19:33:56
SiOx镀膜迟滞回线是向右下方倾斜的，加氧向过氧态方向发展，因此电压更低；但加到一定程度就基本水平了，电压不再下降。

那加氧的话，为什么是那个曲线呢？还没说到那个点上呢！
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6楼2013-08-12 19:07:48
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csa5344235

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by liu2004m at 2013-08-10 22:14:58
可能跟等离子体的量有关

加氧气的话，相对应氩离子来说，因为氧气多了，跟氧气碰撞的就多，跟靶材碰撞的氩离子能量减少，很多就氩离子直接就落在阴极靶材上，降低了阴极的负偏压的缘故吗？
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7楼2013-08-12 20:38:18
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jqz0001

铁杆木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

★
csa5344235: 金币+1 2013-08-13 21:36:32
跟真空室的气压有关系，你气体流量大了，真空度就降低了，这时候镀膜靶电源电压就低了
气体流量小了，真空度就高了，镀膜时靶电源电压就升高了。
具体原因记得不清了，好像跟真空室内气体份子的运动有关
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我是一个很怕主动联系别人的人。如果我主动联系你，说明我很在乎你。如果我不能主动联系你，那是因为我不知道自己在你的心中是否重要。
8楼2013-08-12 23:15:38
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jqz0001

铁杆木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

引用回帖:
8楼: Originally posted by jqz0001 at 2013-08-12 23:15:38
跟真空室的气压有关系，你气体流量大了，真空度就降低了，这时候镀膜靶电源电压就低了
气体流量小了，真空度就高了，镀膜时靶电源电压就升高了。
具体原因记得不清了，好像跟真空室内气体份子的运动有关

再补充一点，电压变化的原因不只是气体流量这一个因素，靶材的冷却对电压的影响也挺大的
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我是一个很怕主动联系别人的人。如果我主动联系你，说明我很在乎你。如果我不能主动联系你，那是因为我不知道自己在你的心中是否重要。
9楼2013-08-12 23:18:21
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ggtech

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
6楼: Originally posted by csa5344235 at 2013-08-12 19:07:48
那加氧的话，为什么是那个曲线呢？还没说到那个点上呢！...

首先你知道这个迟滞回线吗？这是反应溅射的基础。
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gtech
10楼2013-08-13 08:35:10
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