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csa5344235

木虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射问题

在磁控溅射镀膜中，镀SiOx的时候，为什么加氧流量靶材电压就降低，降氧流量的话，靶材电压就升高？理论上如何解释？
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1楼 2013-08-10 19:02:23
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ggtech

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
csa5344235: 金币+2 2013-08-12 19:00:41
SiOx镀膜迟滞回线是向右下方倾斜的，加氧向过氧态方向发展，因此电压更低；但加到一定程度就基本水平了，电压不再下降。
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gtech
3楼2013-08-11 19:33:56
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liu2004m

荣誉版主 (文坛精英)

优秀版主优秀版主优秀版主

【答案】应助回帖

★ ★
csa5344235: 金币+2, 博学EPI+1 2013-08-12 19:00:25
可能跟等离子体的量有关
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2楼2013-08-10 22:14:58
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zuzu-6

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by ggtech at 2013-08-11 19:33:56
SiOx镀膜迟滞回线是向右下方倾斜的，加氧向过氧态方向发展，因此电压更低；但加到一定程度就基本水平了，电压不再下降。

与真空腔内的压力有关
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道可道，非常道。明可明，非常明。
4楼2013-08-12 09:46:13
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zuzu-6

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★
csa5344235: 金币+2 2013-08-12 19:00:53
与真空腔内的压力有关系
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道可道，非常道。明可明，非常明。
5楼2013-08-12 09:47:28
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