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csa5344235木虫 (正式写手)
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[求助]
磁控溅射问题
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| 在磁控溅射镀膜中，镀SiOx的时候，为什么加氧流量靶材电压就降低，降氧流量的话，靶材电压就升高？理论上如何解释？ |
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4楼2013-08-12 09:46:13
liu2004m
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- 博学EPI: 868
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2楼2013-08-10 22:14:58
ggtech
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- 专业: 无机非金属类光电信息与功
3楼2013-08-11 19:33:56
5楼2013-08-12 09:47:28