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csa5344235木虫 (正式写手)
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磁控溅射问题
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| 在磁控溅射镀膜中,镀SiOx的时候,为什么加氧流量靶材电压就降低,降氧流量的话,靶材电压就升高?理论上如何解释? |
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csa5344235
木虫 (正式写手)
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7楼2013-08-12 20:38:18
liu2004m
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2楼2013-08-10 22:14:58
ggtech
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3楼2013-08-11 19:33:56

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