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csa5344235

木虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射问题

在磁控溅射镀膜中,镀SiOx的时候,为什么加氧流量靶材电压就降低,降氧流量的话,靶材电压就升高?理论上如何解释?

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jqz0001

铁杆木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖


csa5344235: 金币+1 2013-08-13 21:36:32
跟真空室的气压有关系,你气体流量大了,真空度就降低了,这时候镀膜靶电源电压就低了
气体流量小了,真空度就高了,镀膜时靶电源电压就升高了。
具体原因记得不清了,好像跟真空室内气体份子的运动有关
我是一个很怕主动联系别人的人。如果我主动联系你,说明我很在乎你。如果我不能主动联系你,那是因为我不知道自己在你的心中是否重要。
8楼2013-08-12 23:15:38
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liu2004m

荣誉版主 (文坛精英)

优秀版主优秀版主优秀版主

【答案】应助回帖

★ ★
csa5344235: 金币+2, 博学EPI+1 2013-08-12 19:00:25
可能跟等离子体的量有关
2楼2013-08-10 22:14:58
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ggtech

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
csa5344235: 金币+2 2013-08-12 19:00:41
SiOx镀膜迟滞回线是向右下方倾斜的,加氧向过氧态方向发展,因此电压更低;但加到一定程度就基本水平了,电压不再下降。
gtech
3楼2013-08-11 19:33:56
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zuzu-6

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by ggtech at 2013-08-11 19:33:56
SiOx镀膜迟滞回线是向右下方倾斜的,加氧向过氧态方向发展,因此电压更低;但加到一定程度就基本水平了,电压不再下降。

与真空腔内的压力有关
道可道,非常道。明可明,非常明。
4楼2013-08-12 09:46:13
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