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csa5344235

木虫 (正式写手)

引用回帖:
10楼: Originally posted by ggtech at 2013-08-13 08:35:10
首先你知道这个迟滞回线吗?这是反应溅射的基础。...

知道!那为什么是那个曲线,不知道!所以才问嘛!!
11楼2013-08-13 21:34:47
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csa5344235

木虫 (正式写手)

引用回帖:
10楼: Originally posted by ggtech at 2013-08-13 08:35:10
首先你知道这个迟滞回线吗?这是反应溅射的基础。...

知其然,但是不知道其所以然,所以才问嘛!!
12楼2013-08-13 21:39:34
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ggtech

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
12楼: Originally posted by csa5344235 at 2013-08-13 21:39:34
知其然,但是不知道其所以然,所以才问嘛!!...

简单的说,
首先,电压高低和随氧量的变化与靶材特性有关,有的往上走(如Nb),有的往下走(如Si);
其次,对Si溅射而言,金属态电压高,氧化态电压低;
第三,氧少的时候,偏金属态溅射;氧多时偏氧化态溅射。
所谓等离子体浓度,一般与Ar量有关。
gtech
13楼2013-08-15 12:45:44
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