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木虫 (正式写手)

引用回帖:

10楼: Originally posted by ggtech at 2013-08-13 08:35:10
首先你知道这个迟滞回线吗？这是反应溅射的基础。...

知道！那为什么是那个曲线，不知道!所以才问嘛！！

11楼2013-08-13 21:34:47

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木虫 (正式写手)

引用回帖:

10楼: Originally posted by ggtech at 2013-08-13 08:35:10
首先你知道这个迟滞回线吗？这是反应溅射的基础。...

知其然，但是不知道其所以然，所以才问嘛！！

12楼2013-08-13 21:39:34

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铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:

12楼: Originally posted by csa5344235 at 2013-08-13 21:39:34
知其然，但是不知道其所以然，所以才问嘛！！...

简单的说，
首先，电压高低和随氧量的变化与靶材特性有关，有的往上走（如Nb），有的往下走（如Si）；
其次，对Si溅射而言，金属态电压高，氧化态电压低；
第三，氧少的时候，偏金属态溅射；氧多时偏氧化态溅射。
所谓等离子体浓度，一般与Ar量有关。

gtech

13楼2013-08-15 12:45:44

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