| 查看: 3948 | 回复: 26 | ||||
liaofang20银虫 (小有名气)
|
[交流]
磁控溅射镀银 已有9人参与
|
|||
|
各位大侠们，我采用磁控溅射镀银，银靶上很多黑点，不知道造成银靶黑点有哪些因素？镀银的前面镀了3-4μm的镍铜合金，银镀膜室腔体壁有很厚的涂层。 请多多指教！ 并且有个疑问请教各位大侠，Ar气溅射银靶的辉光是什么颜色的？我的镀膜压力是0.3-0.5Pa。 [ Last edited by liaofang20 on 2013-6-11 at 16:33 ] |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜制备与特性 |
» 猜你喜欢
085600材料与化工
已经有6人回复
-
281求调剂（0805）
已经有24人回复
-
265求调剂
已经有8人回复
-
0817 化学工程 299分求调剂 有科研经历 有二区文章
已经有21人回复
-
295材料求调剂，一志愿武汉理工085601专硕
已经有4人回复
-
0856调剂，是学校就去
已经有9人回复
-
298-一志愿中国农业大学-求调剂
已经有9人回复
-
求调剂
已经有4人回复
-
学校已经提交到NSFC，还能修改吗？
已经有7人回复
-
材料学硕297已过四六级求调剂推荐
已经有6人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 射频磁控溅射法制备MgO薄膜
已经有7人回复
- DC磁控溅射 是什么种类？磁控溅射法镀膜，膜的厚度 怎么测量
已经有8人回复
- 求教磁控溅射能在在PPS材料表面镀铜吗？
已经有7人回复
- 磁控溅射Fe靶的溅射电压范围
已经有6人回复
- 求教磁控溅射镀铝膜发黑的问题
已经有16人回复
- 磁控溅射底座与腔体短路了 怎么解决
已经有9人回复
- 用磁控溅射镀膜时为什么起辉电压显示为0？是短路了吗？
已经有7人回复
- 直流磁控溅射电压变大
已经有6人回复
- 磁控溅射叉指电极制作方案中遇到的问题
已经有14人回复
- 请教一个磁控溅射制备薄膜的问题，用相同功率的直流和射频溅射金属靶效果有什么不同？
已经有13人回复
- 直流溅射Al膜总是被氧化
已经有10人回复
- 磁控溅射镀不上去膜！！
已经有14人回复
- 直流脉冲磁控溅射镀硅膜阳极掉渣严重
已经有17人回复
- [求助]磁控溅射制备SiN，用的是射频电源，有辉光，但溅射不上
已经有11人回复
- 直流磁控溅射NiFe合金靶材厚度应为多少啊？
已经有7人回复
- 直流磁控溅射与射频磁控溅射镀银
已经有15人回复
- 新手求助，磁控溅射，在银上溅射SiO2二氧化硅
已经有15人回复
- 磁控溅射与反应磁控溅射
已经有18人回复
- 直流磁控溅射镀膜总是被氧化
已经有42人回复
- 【求助】请教为什么有人用磁控溅射金属膜用的是射频电源
已经有21人回复
- 【求助】关于磁控溅射SiO2的问题
已经有14人回复
落花剑雨
木虫之王 (文学泰斗)
- 应助: 48 (小学生)
- 金币: 232028
- 散金: 334
- 红花: 56
- 沙发: 9
- 帖子: 205779
- 在线: 5330.8小时
- 虫号: 802169
- 注册: 2009-07-02
- 性别: GG
- 专业: 无机材料化学
8楼2013-06-06 09:40:57
wbcui
至尊木虫 (知名作家)
- 应助: 221 (大学生)
- 贵宾: 0.349
- 金币: 16296.6
- 散金: 359
- 红花: 73
- 帖子: 8321
- 在线: 919小时
- 虫号: 543804
- 注册: 2008-04-11
- 专业: 金属功能材料
liaofang209楼2013-06-06 09:44:07
11楼2013-06-06 11:00:17
wbcui
至尊木虫 (知名作家)
- 应助: 221 (大学生)
- 贵宾: 0.349
- 金币: 16296.6
- 散金: 359
- 红花: 73
- 帖子: 8321
- 在线: 919小时
- 虫号: 543804
- 注册: 2008-04-11
- 专业: 金属功能材料
25楼2013-06-11 16:58:12
conquertju
金虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 1148.8
- 散金: 1166
- 红花: 3
- 帖子: 245
- 在线: 77.2小时
- 虫号: 1971270
- 注册: 2012-09-03
- 性别: GG
- 专业: 企业管理
2楼2013-06-01 00:25:49
3楼2013-06-04 10:06:06
liaofang20
银虫 (小有名气)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 2174.1
- 散金: 22
- 红花: 1
- 帖子: 251
- 在线: 148小时
- 虫号: 1117067
- 注册: 2010-10-09
- 性别: MM
- 专业: 金属材料表面科学与工程
4楼2013-06-05 17:40:54
liaofang20
银虫 (小有名气)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 2174.1
- 散金: 22
- 红花: 1
- 帖子: 251
- 在线: 148小时
- 虫号: 1117067
- 注册: 2010-10-09
- 性别: MM
- 专业: 金属材料表面科学与工程
5楼2013-06-05 17:42:59
wbcui
至尊木虫 (知名作家)
- 应助: 221 (大学生)
- 贵宾: 0.349
- 金币: 16296.6
- 散金: 359
- 红花: 73
- 帖子: 8321
- 在线: 919小时
- 虫号: 543804
- 注册: 2008-04-11
- 专业: 金属功能材料
6楼2013-06-05 18:39:05
liaofang20
银虫 (小有名气)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 2174.1
- 散金: 22
- 红花: 1
- 帖子: 251
- 在线: 148小时
- 虫号: 1117067
- 注册: 2010-10-09
- 性别: MM
- 专业: 金属材料表面科学与工程
7楼2013-06-06 08:52:12
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
|
黑点有可能是杂质（可能是靶材自身或者外来的）。 但是也不排除氧的影响（最好有照片看看） 【还有磁石问题，你的磁石是旋转的吗？】 对于银这种材料，导电和导热都极好的材料，DC溅射一般很少出问题。 另外，妹子，你的DC电流有点大，小电流试试看（0.5A左右） 至于靶材，我的靶材都是在日本三菱那里买的，国内的靶材应该 没什么问题。 |
» 本帖已获得的红花（最新10朵）
10楼2013-06-06 10:58:08
