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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 交流互助 » 直流溅射Al膜总是被氧化
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718343525

铁虫 (小有名气)

[求助] 直流溅射Al膜总是被氧化 已有2人参与

直流溅射铝膜，膜是黑色的，经过能谱分析，证明是氧化铝，但是百思不得其解，为什么被氧化，溅射的时候本地真空为2*10-4，氩气纯度也很高时五个九的，氩气流量为15ml/min,功率为100W到160W都试过，而且还有个疑问靶材中间部分和边缘部分都为黑色，考虑是不是这个导致的制备出来的Al膜都是黑色的？请问大家有没有出现过相同的情况，或是有什么好的建议？
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1楼 2013-04-17 22:15:26
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csudog

木虫 (小有名气)
可能是靶材有问题
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workinghard
2楼2013-04-17 23:10:49
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718343525

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by csudog at 2013-04-17 23:10:49
可能是靶材有问题

我也怀疑靶有问题，但是我将靶打磨过后，还是相同的情况。
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3楼2013-04-18 09:33:07
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csudog

木虫 (小有名气)
靶材本身问题，可能是你熔炉的靶材不纯
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workinghard
4楼2013-04-18 09:40:14
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718343525

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by csudog at 2013-04-18 09:40:14
靶材本身问题，可能是你熔炉的靶材不纯

熔炉？还是靶材在制作过程中造的不纯？我的靶材是在合肥科晶买的。
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5楼2013-04-18 11:11:17
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w420072c

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
建议测过XRD后再下结论说，Al是否被氧化，我在玻璃上磁控溅射Al或银后，薄膜的颜色也不是纯白色，带些黑色，但XRD表明其没有氧化
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6楼2013-04-18 12:29:48
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w420072c

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

纳米尺度的材料和块体材料的性质 如颜色会有不同
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7楼2013-04-18 12:37:42
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718343525

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by w420072c at 2013-04-18 12:29:48
建议测过XRD后再下结论说，Al是否被氧化，我在玻璃上磁控溅射Al或银后，薄膜的颜色也不是纯白色，带些黑色，但XRD表明其没有氧化

我做出来的直接是全黑色的，这次没做过，以前相同情况XRF做过显示其中含有20%多的氧。
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8楼2013-04-18 15:40:45
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718343525

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by w420072c at 2013-04-18 12:37:42
纳米尺度的材料和块体材料的性质 如颜色会有不同

旁边实验室，用真空蒸镀做的，只有100nm左右，Al膜是银白色的。
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9楼2013-04-18 15:42:36
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tony9250

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

我用磁控溅射做的Al层膜层，膜厚在2000nm。在玻璃的衬底下，先镀一层Mo，Al层镀出来后是银亮色。不是黑色。楼主是不是你的衬底放气了。
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有谁在做MoAlMo镀膜啊！给点帮助啊！
10楼2014-07-07 11:29:00
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