| 查看: 1909 | 回复: 10 | |||
[求助]
直流溅射Al膜总是被氧化 已有2人参与
|
| 直流溅射铝膜，膜是黑色的，经过能谱分析，证明是氧化铝，但是百思不得其解，为什么被氧化，溅射的时候本地真空为2*10-4，氩气纯度也很高时五个九的，氩气流量为15ml/min,功率为100W到160W都试过，而且还有个疑问靶材中间部分和边缘部分都为黑色，考虑是不是这个导致的制备出来的Al膜都是黑色的？请问大家有没有出现过相同的情况，或是有什么好的建议？ |
回复此楼» 猜你喜欢
313求调剂
已经有3人回复
-
310求调剂
已经有12人回复
-
290求调剂
已经有7人回复
-
电气专硕320求调剂
已经有5人回复
-
一志愿西北工业大学289 085602
已经有33人回复
-
一志愿哈工大 085600 277 12材科基求调剂
已经有24人回复
-
268分085602化学工程调剂
已经有28人回复
-
化学工程调剂289
已经有50人回复
-
求调剂，262机械专硕
已经有8人回复
-
305求调剂
已经有6人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 氧化物半导体迁移率低----室温反应磁控溅射
已经有17人回复
- 磁控溅射换靶材之后功率变化很大？
已经有8人回复
- 磁控溅射 射频电源 不能起辉（谢谢）
已经有20人回复
- 氧化铝----陶瓷和单晶---磁控溅射
已经有14人回复
- 直流磁控溅射的仪器大概要多少钱呀
已经有4人回复
- 直流磁控溅射与射频磁控溅射镀银
已经有15人回复
- 磁控溅射 镀铝
已经有54人回复
- 磁控溅射能起辉，但不能沉积
已经有21人回复
- 直流磁控溅射 溅射无法起弧 靶材刻蚀严重
已经有13人回复
- 压电陶瓷采用轧膜成型工艺怎样更能提高坯片密度？？？
已经有7人回复
- 求助：磁控溅射镀金属膜，镀不上去
已经有4人回复
- 请教一下做磁控溅射镀膜的时候，氩气，氧气，氮气电离得时候分别是什么颜色？
已经有22人回复
- 直流磁控溅射镀膜总是被氧化
已经有42人回复
- 【求助】二氧化钛粉末怎么制作成射频溅射所用的二氧化钛靶材？
已经有3人回复
csudog
木虫 (小有名气)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 2567.6
- 红花: 2
- 帖子: 168
- 在线: 633.7小时
- 虫号: 537577
- 注册: 2008-04-01
- 性别: GG
- 专业: 金属基复合材料
2楼2013-04-17 23:10:49
3楼2013-04-18 09:33:07
csudog
木虫 (小有名气)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 2567.6
- 红花: 2
- 帖子: 168
- 在线: 633.7小时
- 虫号: 537577
- 注册: 2008-04-01
- 性别: GG
- 专业: 金属基复合材料
4楼2013-04-18 09:40:14
5楼2013-04-18 11:11:17
6楼2013-04-18 12:29:48
7楼2013-04-18 12:37:42
8楼2013-04-18 15:40:45
9楼2013-04-18 15:42:36
tony9250
金虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 2962.8
- 帖子: 104
- 在线: 25.4小时
- 虫号: 3178549
- 注册: 2014-05-04
- 性别: GG
- 专业: 高分子科学
10楼2014-07-07 11:29:00
