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liaofang20

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[交流] 磁控溅射镀银已有9人参与

各位大侠们，我采用磁控溅射镀银，银靶上很多黑点，不知道造成银靶黑点有哪些因素？镀银的前面镀了3-4μm的镍铜合金，银镀膜室腔体壁有很厚的涂层。
请多多指教！
并且有个疑问请教各位大侠，Ar气溅射银靶的辉光是什么颜色的？我的镀膜压力是0.3-0.5Pa。

[ Last edited by liaofang20 on 2013-6-11 at 16:33 ]

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1楼 2013-05-31 16:25:00

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liaofang20

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引用回帖:

10楼: Originally posted by qwcmos at 2013-06-06 10:58:08
黑点有可能是杂质（可能是靶材自身或者外来的）。
但是也不排除氧的影响（最好有照片看看）
【还有磁石问题，你的磁石是旋转的吗？】
对于银这种材料，导电和导热都极好的材料，DC溅射一般很少出问题。
另外， ...

磁石是固定的，靶材是旋转的（圆柱靶）。电流小了镀膜时间会比较长。也想到是磁铁吸附了一些杂质，但是镀出来的银怎么是黄的呢？是靶材变黑的问题还是冷却不够出炉氧化？