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liaofang20

银虫 (小有名气)

[交流] 磁控溅射镀银 已有9人参与

各位大侠们,我采用磁控溅射镀银,银靶上很多黑点,不知道造成银靶黑点有哪些因素?镀银的前面镀了3-4μm的镍铜合金,银镀膜室腔体壁有很厚的涂层。
请多多指教!
并且有个疑问请教各位大侠,Ar气溅射银靶的辉光是什么颜色的?我的镀膜压力是0.3-0.5Pa。

[ Last edited by liaofang20 on 2013-6-11 at 16:33 ]
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liaofang20

银虫 (小有名气)

送红花一朵
引用回帖:
10楼: Originally posted by qwcmos at 2013-06-06 10:58:08
黑点有可能是杂质(可能是靶材自身或者外来的)。
但是也不排除氧的影响(最好有照片看看)
【还有磁石问题,你的磁石是旋转的吗?】
对于银这种材料,导电和导热都极好的材料,DC溅射一般很少出问题。
另外, ...

磁石是固定的,靶材是旋转的(圆柱靶)。电流小了镀膜时间会比较长。也想到是磁铁吸附了一些杂质,但是镀出来的银怎么是黄的呢?是靶材变黑的问题还是冷却不够出炉氧化?
12楼2013-06-06 17:25:53
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conquertju

金虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
我镀银前镀过镍,不会出现黑点,镍铜没用过…镀银的电压电流多大?稳定么?

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
2楼2013-06-01 00:25:49
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qwcmos

铜虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
银靶材的纯度是多少?
DC电流多少,工作气压多少?
我用了很久的银靶材,从来没有遇见过你说的那样。
3楼2013-06-04 10:06:06
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liaofang20

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by conquertju at 2013-06-01 00:25:49
我镀银前镀过镍,不会出现黑点,镍铜没用过…镀银的电压电流多大?稳定么?

靶电流1.5A,靶电压60V。相对来说算稳定。
4楼2013-06-05 17:40:54
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