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liaofang20银虫 (小有名气)
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磁控溅射镀银 已有9人参与
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各位大侠们，我采用磁控溅射镀银，银靶上很多黑点，不知道造成银靶黑点有哪些因素？镀银的前面镀了3-4μm的镍铜合金，银镀膜室腔体壁有很厚的涂层。 请多多指教！ 并且有个疑问请教各位大侠，Ar气溅射银靶的辉光是什么颜色的？我的镀膜压力是0.3-0.5Pa。 [ Last edited by liaofang20 on 2013-6-11 at 16:33 ] |
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 薄膜制备与特性 |
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黑点有可能是杂质（可能是靶材自身或者外来的）。 但是也不排除氧的影响（最好有照片看看） 【还有磁石问题，你的磁石是旋转的吗？】 对于银这种材料，导电和导热都极好的材料，DC溅射一般很少出问题。 另外，妹子，你的DC电流有点大，小电流试试看（0.5A左右） 至于靶材，我的靶材都是在日本三菱那里买的，国内的靶材应该 没什么问题。 |
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