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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射镀银
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w2001jq

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
应该是氧化造成的~
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11楼2013-06-06 11:00:17
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liaofang20

银虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
10楼: Originally posted by qwcmos at 2013-06-06 10:58:08
黑点有可能是杂质（可能是靶材自身或者外来的）。
但是也不排除氧的影响（最好有照片看看）
【还有磁石问题，你的磁石是旋转的吗？】
对于银这种材料，导电和导热都极好的材料，DC溅射一般很少出问题。
另外， ...

磁石是固定的，靶材是旋转的（圆柱靶）。电流小了镀膜时间会比较长。也想到是磁铁吸附了一些杂质，但是镀出来的银怎么是黄的呢？是靶材变黑的问题还是冷却不够出炉氧化？
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12楼2013-06-06 17:25:53
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liaofang20

银虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
9楼: Originally posted by wbcui at 2013-06-06 09:44:07
哦
我没见过这种情况

妹子用的哪个厂家的溅射？...

这个不清楚。厂家提供的靶材应该没问题。
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13楼2013-06-06 17:27:07
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
12楼: Originally posted by liaofang20 at 2013-06-06 18:25:53
磁石是固定的，靶材是旋转的（圆柱靶）。电流小了镀膜时间会比较长。也想到是磁铁吸附了一些杂质，但是镀出来的银怎么是黄的呢？是靶材变黑的问题还是冷却不够出炉氧化？...

靶材怎么能旋转？
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14楼2013-06-06 22:24:16
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Torres丁

禁虫 (正式写手)
本帖内容被屏蔽
15楼2013-06-06 23:53:25
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liaofang20

银虫 (小有名气)
引用回帖:
14楼: Originally posted by wbcui at 2013-06-06 22:24:16
靶材怎么能旋转？...

靶材有电机带动的旋转的，为了使靶材溅射均匀。
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16楼2013-06-07 08:05:20
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liaofang20

银虫 (小有名气)
引用回帖:
15楼: Originally posted by Torres丁 at 2013-06-06 23:53:25
RF还是DC？

大侠，用的是DC电源。
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17楼2013-06-07 08:05:41
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郭立强

铁杆木虫 (正式写手)
被氧化了,
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18楼2013-06-07 08:24:30
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xiaofeng-wang

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
可能是氧化银和硫化银两种。
但氧化银100℃会分解，点靶后，溅射一段时间应该就没了。
如果是硫化银的话，应该和下面的镍铜有关系。3-4μm的镍铜是磁控还是化学法？镍很容易和硫结合的。
解决方法：
打磨银靶表面，溅射后的新鲜表面，最好保护起来，不要暴露在大气中，空气污染很重的。
下次溅射还有，说明就是镍铜或溅射气氛的原因。
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liaofang20
呼市虫子在深圳创造奇迹！
19楼2013-06-07 08:49:56
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liaofang20

银虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
19楼: Originally posted by xiaofeng-wang at 2013-06-07 08:49:56
可能是氧化银和硫化银两种。
但氧化银100℃会分解，点靶后，溅射一段时间应该就没了。
如果是硫化银的话，应该和下面的镍铜有关系。3-4μm的镍铜是磁控还是化学法？镍很容易和硫结合的。
解决方法：
打磨银靶表 ...

膜层都是在同一个腔体里面溅射的，气氛只有Ar气，镀完一层接着镀第二层，没有出过腔室。
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20楼2013-06-07 14:37:40
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