应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射镀银
272/3返回列表上一页123下一页
查看: 4093  |  回复: 26
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

w2001jq

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
应该是氧化造成的~
赞一下(1人) 回复此楼
11楼2013-06-06 11:00:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liaofang20

银虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
10楼: Originally posted by qwcmos at 2013-06-06 10:58:08
黑点有可能是杂质（可能是靶材自身或者外来的）。
但是也不排除氧的影响（最好有照片看看）
【还有磁石问题，你的磁石是旋转的吗？】
对于银这种材料，导电和导热都极好的材料，DC溅射一般很少出问题。
另外， ...

磁石是固定的，靶材是旋转的（圆柱靶）。电流小了镀膜时间会比较长。也想到是磁铁吸附了一些杂质，但是镀出来的银怎么是黄的呢？是靶材变黑的问题还是冷却不够出炉氧化？
赞一下 回复此楼
12楼2013-06-06 17:25:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liaofang20

银虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
9楼: Originally posted by wbcui at 2013-06-06 09:44:07
哦
我没见过这种情况

妹子用的哪个厂家的溅射？...

这个不清楚。厂家提供的靶材应该没问题。
赞一下 回复此楼
13楼2013-06-06 17:27:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wbcui

至尊木虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
12楼: Originally posted by liaofang20 at 2013-06-06 18:25:53
磁石是固定的，靶材是旋转的（圆柱靶）。电流小了镀膜时间会比较长。也想到是磁铁吸附了一些杂质，但是镀出来的银怎么是黄的呢？是靶材变黑的问题还是冷却不够出炉氧化？...

靶材怎么能旋转？
赞一下 回复此楼
14楼2013-06-06 22:24:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Torres丁

禁虫 (正式写手)
本帖内容被屏蔽
15楼2013-06-06 23:53:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liaofang20

银虫 (小有名气)
引用回帖:
14楼: Originally posted by wbcui at 2013-06-06 22:24:16
靶材怎么能旋转？...

靶材有电机带动的旋转的，为了使靶材溅射均匀。
赞一下 回复此楼
16楼2013-06-07 08:05:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liaofang20

银虫 (小有名气)
引用回帖:
15楼: Originally posted by Torres丁 at 2013-06-06 23:53:25
RF还是DC？

大侠，用的是DC电源。
赞一下 回复此楼
17楼2013-06-07 08:05:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

郭立强

铁杆木虫 (正式写手)
被氧化了,
回复此楼
18楼2013-06-07 08:24:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xiaofeng-wang

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
可能是氧化银和硫化银两种。
但氧化银100℃会分解，点靶后，溅射一段时间应该就没了。
如果是硫化银的话，应该和下面的镍铜有关系。3-4μm的镍铜是磁控还是化学法？镍很容易和硫结合的。
解决方法：
打磨银靶表面，溅射后的新鲜表面，最好保护起来，不要暴露在大气中，空气污染很重的。
下次溅射还有，说明就是镍铜或溅射气氛的原因。
赞一下 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

liaofang20
呼市虫子在深圳创造奇迹！
19楼2013-06-07 08:49:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liaofang20

银虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
19楼: Originally posted by xiaofeng-wang at 2013-06-07 08:49:56
可能是氧化银和硫化银两种。
但氧化银100℃会分解，点靶后，溅射一段时间应该就没了。
如果是硫化银的话，应该和下面的镍铜有关系。3-4μm的镍铜是磁控还是化学法？镍很容易和硫结合的。
解决方法：
打磨银靶表 ...

膜层都是在同一个腔体里面溅射的，气氛只有Ar气，镀完一层接着镀第二层，没有出过腔室。
赞一下 回复此楼
20楼2013-06-07 14:37:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 liaofang20 的主题更新
272/3返回列表上一页123下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 今年也是没消息就是没中么 +3 vito刘 2026-06-13 3/150 2026-06-14 06:40 by zzahkj
[硕博家园] T^T +6 m584r2z4j3 2026-06-11 7/350 2026-06-13 23:10 by 3eaav2pea1
[公派出国] π_π +4 m584r2z4j3 2026-06-11 4/200 2026-06-13 18:33 by lkmi35jdzt
[文学芳草园] 咸菜 +3 myrtle 2026-06-10 3/150 2026-06-13 18:29 by ahsoarli
[考博] π_π +4 m584r2z4j3 2026-06-11 4/200 2026-06-13 18:25 by lkmi35jdzt
[考研] o>_<o +5 m584r2z4j3 2026-06-11 5/250 2026-06-13 18:22 by lkmi35jdzt
[考博] T^T +3 q1zg6x4lf3 2026-06-12 3/150 2026-06-13 14:45 by 80j16ujcu8
[考研] O(∩_∩)O +3 q1zg6x4lf3 2026-06-12 4/200 2026-06-13 14:42 by 80j16ujcu8
[考研] ╭(╯ε╰)╮ +4 m584r2z4j3 2026-06-11 4/200 2026-06-13 14:22 by 80j16ujcu8
[考博] T^T +4 jk31rb6vyz 2026-06-12 4/200 2026-06-13 12:09 by 80j16ujcu8
[考博] T^T +3 m584r2z4j3 2026-06-11 3/150 2026-06-13 12:04 by 80j16ujcu8
[找工作] 售SCI文章，我:8.O.5.51O.5.4,科目齐全,可十急 +4 q1zg6x4lf3 2026-06-12 4/200 2026-06-13 08:53 by t4hz8376wy
[论文投稿] →_→ +5 m584r2z4j3 2026-06-11 5/250 2026-06-13 08:13 by t4hz8376wy
[基金申请] 面上项目没有好文章就没希望了吗？ +19 1234567wang 2026-06-07 21/1050 2026-06-12 21:24 by littlezl
[考博] [急招]吉林大学招收26年9月入学考核制博士生1名，截止今晚24点前 +3 hehejin 2026-06-10 4/200 2026-06-12 18:24 by 冻雨天
[教师之家] 重庆理工大学副校长遇刺身亡 传涉案副教授疑因积怨行凶 +6 yexuqing 2026-06-07 7/350 2026-06-12 16:46 by wwwkkk83
[基金申请] 前几天时间戳更新了 +8 vito刘 2026-06-11 13/650 2026-06-12 14:17 by BlakeReary
[教师之家] AASSDDFF +3 m584r2z4j3 2026-06-11 3/150 2026-06-12 11:28 by zs48m4lz8g
[考博] 还有课题组有博士名额吗 +5 冻雨天 2026-06-07 6/300 2026-06-08 20:59 by RCS_tyro
[考博] 博士申请 +3 张城斐 2026-06-07 3/150 2026-06-08 09:15 by A大朋同学
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭