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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射镀银
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liaofang20

银虫 (小有名气)

[交流] 磁控溅射镀银 已有9人参与

各位大侠们，我采用磁控溅射镀银，银靶上很多黑点，不知道造成银靶黑点有哪些因素？镀银的前面镀了3-4μm的镍铜合金，银镀膜室腔体壁有很厚的涂层。
请多多指教！
并且有个疑问请教各位大侠，Ar气溅射银靶的辉光是什么颜色的？我的镀膜压力是0.3-0.5Pa。

[ Last edited by liaofang20 on 2013-6-11 at 16:33 ]
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1楼 2013-05-31 16:25:00
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liaofang20

银虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
19楼: Originally posted by xiaofeng-wang at 2013-06-07 08:49:56
可能是氧化银和硫化银两种。
但氧化银100℃会分解，点靶后，溅射一段时间应该就没了。
如果是硫化银的话，应该和下面的镍铜有关系。3-4μm的镍铜是磁控还是化学法？镍很容易和硫结合的。
解决方法：
打磨银靶表 ...

膜层都是在同一个腔体里面溅射的，气氛只有Ar气，镀完一层接着镀第二层，没有出过腔室。
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20楼2013-06-07 14:37:40
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conquertju

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我镀银前镀过镍，不会出现黑点，镍铜没用过…镀银的电压电流多大？稳定么？

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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2楼2013-06-01 00:25:49
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qwcmos

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
银靶材的纯度是多少？
DC电流多少，工作气压多少？
我用了很久的银靶材，从来没有遇见过你说的那样。
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3楼2013-06-04 10:06:06
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liaofang20

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by conquertju at 2013-06-01 00:25:49
我镀银前镀过镍，不会出现黑点，镍铜没用过…镀银的电压电流多大？稳定么？

靶电流1.5A，靶电压60V。相对来说算稳定。
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4楼2013-06-05 17:40:54
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