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liaofang20

银虫 (小有名气)

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[交流] 磁控溅射镀银已有9人参与

各位大侠们，我采用磁控溅射镀银，银靶上很多黑点，不知道造成银靶黑点有哪些因素？镀银的前面镀了3-4μm的镍铜合金，银镀膜室腔体壁有很厚的涂层。
请多多指教！
并且有个疑问请教各位大侠，Ar气溅射银靶的辉光是什么颜色的？我的镀膜压力是0.3-0.5Pa。

[ Last edited by liaofang20 on 2013-6-11 at 16:33 ]

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1楼 2013-05-31 16:25:00

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xiaofeng-wang

铁杆木虫 (著名写手)

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可能是氧化银和硫化银两种。
但氧化银100℃会分解，点靶后，溅射一段时间应该就没了。
如果是硫化银的话，应该和下面的镍铜有关系。3-4μm的镍铜是磁控还是化学法？镍很容易和硫结合的。
解决方法：
打磨银靶表面，溅射后的新鲜表面，最好保护起来，不要暴露在大气中，空气污染很重的。
下次溅射还有，说明就是镍铜或溅射气氛的原因。