24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
查看: 3998  |  回复: 26
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

liaofang20

银虫 (小有名气)

[交流] 磁控溅射镀银 已有9人参与

各位大侠们,我采用磁控溅射镀银,银靶上很多黑点,不知道造成银靶黑点有哪些因素?镀银的前面镀了3-4μm的镍铜合金,银镀膜室腔体壁有很厚的涂层。
请多多指教!
并且有个疑问请教各位大侠,Ar气溅射银靶的辉光是什么颜色的?我的镀膜压力是0.3-0.5Pa。

[ Last edited by liaofang20 on 2013-6-11 at 16:33 ]
回复此楼

» 猜你喜欢

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liaofang20

银虫 (小有名气)

引用回帖:
15楼: Originally posted by Torres丁 at 2013-06-06 23:53:25
RF还是DC?

大侠,用的是DC电源。
17楼2013-06-07 08:05:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 27 个回答

conquertju

金虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
我镀银前镀过镍,不会出现黑点,镍铜没用过…镀银的电压电流多大?稳定么?

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
2楼2013-06-01 00:25:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qwcmos

铜虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
银靶材的纯度是多少?
DC电流多少,工作气压多少?
我用了很久的银靶材,从来没有遇见过你说的那样。
3楼2013-06-04 10:06:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liaofang20

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by conquertju at 2013-06-01 00:25:49
我镀银前镀过镍,不会出现黑点,镍铜没用过…镀银的电压电流多大?稳定么?

靶电流1.5A,靶电压60V。相对来说算稳定。
4楼2013-06-05 17:40:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 305求调剂 +6 77Qi 2026-04-07 6/300 2026-04-12 02:30 by 秋豆菜芽
[考研] 280求调剂 +13 wzzz王 2026-04-09 13/650 2026-04-12 00:31 by 勇攀高峰0126
[考研] 调剂求助 +6 果然有我 2026-04-11 7/350 2026-04-11 16:22 by 明月此时有
[考研] 274求调剂求调剂 +11 Jachenbingoo 2026-04-06 14/700 2026-04-11 11:37 by 紫曦紫棋
[考研] 求调剂 +13 雪逢冬 2026-04-10 13/650 2026-04-11 09:58 by 猪会飞
[考研] 调剂 +12 卷卷卷心菜_ 2026-04-09 13/650 2026-04-10 22:36 by Ftglcn90
[考研] 本科西工大 324求调剂 +4 wysyjs25 2026-04-10 4/200 2026-04-10 20:00 by 来看流星雨10
[考研] 287求调剂 +15 Fnhc 2026-04-07 21/1050 2026-04-10 19:09 by chemisry
[考研] 一志愿0703化学招61最终排名62化学求调剂 +24 招61排名62 2026-04-07 28/1400 2026-04-10 16:15 by yx54321
[考研] 机械专368 有去处吗 +4 种大树 2026-04-10 4/200 2026-04-10 15:31 by jiajinhpu
[考研] 297求调剂 +27 GENJIOW 2026-04-07 30/1500 2026-04-09 23:20 by wolf97
[考研] 070300化学 求调剂 +13 73372112 2026-04-08 13/650 2026-04-09 20:22 by maddjdld
[考研] 0703化学求调剂 +21 不知名的小卅 2026-04-08 21/1050 2026-04-09 18:55 by l_paradox
[考研] 083200 初试305分 求调剂 暂不考虑跨专业 +15 Claireyyyy 2026-04-09 15/750 2026-04-09 16:11 by zhuimr
[考研] 0860004 求调剂 309分 +6 Yin DY 2026-04-09 6/300 2026-04-09 10:19 by 啊李999
[考研] 材料与化工专硕306分找合适调剂 +27 沧海轻舟e 2026-04-06 28/1400 2026-04-08 22:06 by wdyheheeh
[考研] 化学0703-一志愿211-338分求调剂 +10 vants 2026-04-05 11/550 2026-04-08 16:02 by screening
[考研] 287求调剂 +6 Fnhc 2026-04-07 6/300 2026-04-08 10:05 by xingguangj
[考研] 323求调剂 +3 林zlu 2026-04-07 4/200 2026-04-07 23:21 by lbsjt
[考研] 22408 调剂材料 +7 我叫ez 2026-04-06 8/400 2026-04-07 17:12 by 蓝云思雨
信息提示
请填处理意见