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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射镀银
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
16楼: Originally posted by liaofang20 at 2013-06-07 09:05:20
靶材有电机带动的旋转的，为了使靶材溅射均匀。...

妹子，应该是基片吧？
靶材怎么可能在溅射的转动？
能付张内部结构的照片么?
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21楼2013-06-07 16:12:38
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liaofang20

银虫 (小有名气)
引用回帖:
21楼: Originally posted by wbcui at 2013-06-07 16:12:38
妹子，应该是基片吧？
靶材怎么可能在溅射的转动？
能付张内部结构的照片么?...

呵呵，磁控溅射柱状靶一般都能转动。图柱状靶外部结构
磁控溅射镀银
图片2.png
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22楼2013-06-11 11:09:08
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
22楼: Originally posted by liaofang20 at 2013-06-11 12:09:08
呵呵，磁控溅射柱状靶一般都能转动。图柱状靶外部结构

图片2.png
...

你圈住的那个是驱动是控制靶材shutter的吧？
不是用来旋转的吧？

不明白内部构造
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» 本帖已获得的红花（最新10朵）

liaofang20
23楼2013-06-11 13:58:00
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liaofang20

银虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
23楼: Originally posted by wbcui at 2013-06-11 13:58:00
你圈住的那个是驱动是控制靶材shutter的吧？
不是用来旋转的吧？

不明白内部构造...

那有个电极带动轴承转动的。跟普通的圆柱靶没啥区别，只不过这个靶是横着的，常见的是竖着的。大哥，这个不是重点。
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24楼2013-06-11 16:30:15
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
24楼: Originally posted by liaofang20 at 2013-06-11 17:30:15
那有个电极带动轴承转动的。跟普通的圆柱靶没啥区别，只不过这个靶是横着的，常见的是竖着的。大哥，这个不是重点。...

只是，如果靶材还能旋转的话，如何更好的冷却呢？
通常靶材冷却才是个关键因素，很多厂家在这方面做得不好。
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25楼2013-06-11 16:58:12
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liaofang20

银虫 (小有名气)
引用回帖:
25楼: Originally posted by wbcui at 2013-06-11 16:58:12
只是，如果靶材还能旋转的话，如何更好的冷却呢？
通常靶材冷却才是个关键因素，很多厂家在这方面做得不好。...

冷却方面确实还不太好。
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26楼2013-06-14 10:01:42
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wiseroy

木虫 (著名写手)

更多共享-更多交流-更多进步
貌似真空度不够。
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善良
27楼2013-06-15 10:30:02
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