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wbcui

至尊木虫 (知名作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
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16楼: Originally posted by liaofang20 at 2013-06-07 09:05:20
靶材有电机带动的旋转的,为了使靶材溅射均匀。...

妹子,应该是基片吧?
靶材怎么可能在溅射的转动?
能付张内部结构的照片么?
21楼2013-06-07 16:12:38
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liaofang20

银虫 (小有名气)

引用回帖:
21楼: Originally posted by wbcui at 2013-06-07 16:12:38
妹子,应该是基片吧?
靶材怎么可能在溅射的转动?
能付张内部结构的照片么?...

呵呵,磁控溅射柱状靶一般都能转动。图柱状靶外部结构
磁控溅射镀银
图片2.png

22楼2013-06-11 11:09:08
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
22楼: Originally posted by liaofang20 at 2013-06-11 12:09:08
呵呵,磁控溅射柱状靶一般都能转动。图柱状靶外部结构

图片2.png
...

你圈住的那个是驱动是控制靶材shutter的吧?
不是用来旋转的吧?

不明白内部构造

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

23楼2013-06-11 13:58:00
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liaofang20

银虫 (小有名气)

送红花一朵
引用回帖:
23楼: Originally posted by wbcui at 2013-06-11 13:58:00
你圈住的那个是驱动是控制靶材shutter的吧?
不是用来旋转的吧?

不明白内部构造...

那有个电极带动轴承转动的。跟普通的圆柱靶没啥区别,只不过这个靶是横着的,常见的是竖着的。大哥,这个不是重点。
24楼2013-06-11 16:30:15
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
24楼: Originally posted by liaofang20 at 2013-06-11 17:30:15
那有个电极带动轴承转动的。跟普通的圆柱靶没啥区别,只不过这个靶是横着的,常见的是竖着的。大哥,这个不是重点。...

只是,如果靶材还能旋转的话,如何更好的冷却呢?
通常靶材冷却才是个关键因素,很多厂家在这方面做得不好。
25楼2013-06-11 16:58:12
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liaofang20

银虫 (小有名气)

引用回帖:
25楼: Originally posted by wbcui at 2013-06-11 16:58:12
只是,如果靶材还能旋转的话,如何更好的冷却呢?
通常靶材冷却才是个关键因素,很多厂家在这方面做得不好。...

冷却方面确实还不太好。
26楼2013-06-14 10:01:42
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wiseroy

木虫 (著名写手)

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貌似真空度不够。
善良
27楼2013-06-15 10:30:02
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