24小时热门版块排行榜    

查看: 3940  |  回复: 26
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

liaofang20

银虫 (小有名气)

[交流] 磁控溅射镀银 已有9人参与

各位大侠们,我采用磁控溅射镀银,银靶上很多黑点,不知道造成银靶黑点有哪些因素?镀银的前面镀了3-4μm的镍铜合金,银镀膜室腔体壁有很厚的涂层。
请多多指教!
并且有个疑问请教各位大侠,Ar气溅射银靶的辉光是什么颜色的?我的镀膜压力是0.3-0.5Pa。

[ Last edited by liaofang20 on 2013-6-11 at 16:33 ]
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜制备与特性

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liaofang20

银虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by qwcmos at 2013-06-04 10:06:06
银靶材的纯度是多少?
DC电流多少,工作气压多少?
我用了很久的银靶材,从来没有遇见过你说的那样。

银靶纯度99.9%以上,DC电流1.5A,工作气压0.5~0.6Pa。一般靶材能用一个月。
5楼2013-06-05 17:42:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 27 个回答

conquertju

金虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
我镀银前镀过镍,不会出现黑点,镍铜没用过…镀银的电压电流多大?稳定么?

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
2楼2013-06-01 00:25:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qwcmos

铜虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
银靶材的纯度是多少?
DC电流多少,工作气压多少?
我用了很久的银靶材,从来没有遇见过你说的那样。
3楼2013-06-04 10:06:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liaofang20

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by conquertju at 2013-06-01 00:25:49
我镀银前镀过镍,不会出现黑点,镍铜没用过…镀银的电压电流多大?稳定么?

靶电流1.5A,靶电压60V。相对来说算稳定。
4楼2013-06-05 17:40:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 08工学调剂 +3 用户573181 2026-03-20 3/150 2026-03-20 10:22 by 1027_324
[考研] 一志愿吉林大学材料学硕321求调剂 +10 Ymlll 2026-03-18 13/650 2026-03-20 10:19 by 制度的
[考研] 271材料工程求调剂 +7 .6lL 2026-03-18 7/350 2026-03-20 09:10 by xingguangj
[考研] 265求调剂 +8 梁梁校校 2026-03-19 8/400 2026-03-20 09:08 by 每天只摆一小会
[考研] 一志愿武汉理工材料工程专硕调剂 +6 Doleres 2026-03-19 6/300 2026-03-20 09:03 by xingguangj
[考研] 304求调剂 +5 曼殊2266 2026-03-18 5/250 2026-03-20 09:00 by ZHANG0tao
[考研] 085700资源与环境308求调剂 +8 墨墨漠 2026-03-18 8/400 2026-03-20 08:59 by lbsjt
[考研] 296求调剂 +3 www_q 2026-03-18 6/300 2026-03-19 22:28 by zhq0425
[考研] 一志愿福大288有机化学,求调剂 +3 小木虫200408204 2026-03-18 3/150 2026-03-19 13:31 by houyaoxu
[考研] 287求调剂 +3 晨昏线与星海 2026-03-19 4/200 2026-03-19 12:32 by peike
[考研] 312求调剂 +8 陌宸希 2026-03-16 9/450 2026-03-18 12:39 by Linda Hu
[考研] 280求调剂 +6 咕噜晓晓 2026-03-18 7/350 2026-03-18 11:25 by 无际的草原
[考研] 材料,纺织,生物(0856、0710),化学招生啦 +3 Eember. 2026-03-17 9/450 2026-03-18 10:28 by Eember.
[基金申请] 被我言中:新模板不强调格式了,假专家开始管格式了 +4 beefly 2026-03-14 4/200 2026-03-17 22:04 by 黄鸟于飞Chao
[考研] 考研化学学硕调剂,一志愿985 +4 张vvvv 2026-03-15 6/300 2026-03-17 17:15 by ruiyingmiao
[考研] 一志愿南京大学,080500材料科学与工程,调剂 +4 Jy? 2026-03-16 4/200 2026-03-17 11:02 by gaoqiong
[考研] 东南大学364求调剂 +5 JasonYuiui 2026-03-15 5/250 2026-03-16 21:28 by 木瓜膏
[考研] 318求调剂 +3 Yanyali 2026-03-15 3/150 2026-03-16 16:41 by houyaoxu
[考研] 26考研一志愿中国石油大学(华东)305分求调剂 +3 嘉年新程 2026-03-15 3/150 2026-03-15 13:58 by 哈哈哈哈嘿嘿嘿
[考研] 297一志愿上交085600求调剂 +5 指尖八千里 2026-03-14 5/250 2026-03-14 17:26 by a不易
信息提示
请填处理意见