应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 【求助】光刻用的掩模板怎么清洗？
261/1返回列表
查看: 10661  |  回复: 25
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

newbeefans

木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】光刻用的掩模板怎么清洗？

掩模板用了很久了， 表面脏了（残余光刻胶、灰尘、指纹之类的）
请问用什么清洗啊, IPO？丙酮？
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

光刻胶 硅片、玻璃片清洗，加工 制程设备维护保养

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2011-01-04 17:42:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

Mr.不太靠谱

银虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
用饱和的NaOH溶液浸泡5min, 用去离子水冲洗，然后用50%浓硫酸泡5min,用去离子水冲洗 氮气吹干  这是掩膜板厂家提供的清洗方法
赞一下(1人) 回复此楼
25楼2014-07-08 21:02:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

dugu

木虫 (小有名气)
newbeefans(金币+10):thx 2011-01-10 16:37:44
丙酮+IPA 可以试试
不过很清洁的表面弄脏后很难清洗干净
赞一下 回复此楼
2楼2011-01-06 16:40:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

woody5532

银虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
处理起来很麻烦，我一般使用溶剂浸泡，超声振荡，但是效果也不是很好。。。
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2011-03-31 08:53:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

quanbaogang

木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
好像是用千分之三的氢氧化钾水溶液泡，同时用特别柔软的毛笔刷。这个办法比超声好很多。
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2011-04-20 00:37:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

pjx043

银虫 (小有名气)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
金光闪闪2010(金币+1): 2011-11-19 09:02:52
我的掩膜板是微米级的，玻璃衬底，怎么清洗啊？ 会不会把掩膜条纹弄坏？
赞一下(2人) 回复此楼
5楼2011-11-19 01:08:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

大水杯

木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
5楼: Originally posted by pjx043 at 2011-11-19 01:08:17:
我的掩膜板是微米级的，玻璃衬底，怎么清洗啊？ 会不会把掩膜条纹弄坏？

我们一般用浸有丙酮的脱脂棉球轻轻擦拭，而后用氮气吹干
赞一下(1人) 回复此楼
6楼2011-11-20 19:23:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

panpan2006

新虫 (初入文坛)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
金光闪闪2010(金币+1): 2011-11-25 18:05:14
丙酮、乙醇、水冲洗最后甩干
其实有专门的洗版的机子
赞一下(2人) 回复此楼
7楼2011-11-25 14:58:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xiangmengli

金虫 (正式写手)
★
xjajx(金币+1): 2011-11-25 16:29:08
丙酮、吹干 乙醇吹干 去离子水吹干 即可
赞一下(1人) 回复此楼
8楼2011-11-25 15:23:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

booam123

新虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
最简单的是用热丙酮烧80度。
赞一下(1人) 回复此楼
9楼2011-12-08 13:41:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

booam123

新虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
或者1165 striper. 80度。
我也可以帮你代做如果有必要的话。
赞一下(1人) 回复此楼
10楼2011-12-08 13:44:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

tongzone

新虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
TZ-MWS-II掩膜版清洗机

掩膜清洗一般使用掩膜版清洗液，DI water冲洗， 放入掩膜板清洗机边冲洗边旋转，将污染颗粒冲洗干净。之后高速旋转甩干。 掩膜板清洗机可清洗3寸、4寸、5寸、6寸掩膜。  
  ToneZone mask掩膜板清洗机 配备有DI Water喷头、速度控制模块、远红外烘烤等。
http://www.tongzonemask.com/se.asp?nowmenuid=500077
赞一下(1人) 回复此楼
11楼2011-12-11 20:01:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wangzhenwei

银虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
丙酮就好了 慢慢来 一点一点就干净了 热点的丙酮更有效～
赞一下(1人) 回复此楼
12楼2011-12-21 16:02:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yangguang53

金虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
掩模板上图案一般不容易被破坏，用丙酮清洗就好了
赞一下(1人) 回复此楼
13楼2011-12-22 21:57:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

vidgay

金虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
丙酮超声清洗，然后用酒精清洗，去离子水冲洗，而后氮吹，烘干。
一般掩模版用一段时间都需要按上述步骤清洗，这样才会避免永久损伤
赞一下(1人) 回复此楼
14楼2011-12-25 18:43:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

haerbin06

铜虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
acetone 5min; ipa 2min, water 2min; wihwithout any problem
赞一下(1人) 回复此楼
15楼2011-12-25 23:49:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

alfie237319

金虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
先用丙酮超声清洗20分钟，氮气吹干，再用酒精超声20分钟即可
赞一下 回复此楼
16楼2012-02-21 09:27:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wangzhenwei

银虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
丙酮擦下 氮气吹干就好了
赞一下 回复此楼
17楼2012-04-19 09:27:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

fznm1234

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我最小尺寸步5um，我每次都是用擦镜纸擦。
赞一下 回复此楼
18楼2012-04-20 09:53:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

exciting1973

禁虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
本帖内容被屏蔽
19楼2012-09-16 13:13:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yangzai132

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
丙酮超声清洗会把上面的膜一起振掉。。。
赞一下 回复此楼
20楼2012-11-13 16:07:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lvyiyilv

木虫 (职业作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
丙酮冲洗，不用水
然后放在无尘布上热板烘一下
赞一下 回复此楼
21楼2012-12-02 19:10:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mimzyvv

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
想问下用丙酮超声的时候使用塑料盒子行不行，会不会被溶解呀？
还有如果用氢氧化钾溶液的话浓度一般用多少的呢？

[ Last edited by mimzyvv on 2013-3-13 at 19:48 ]
赞一下 回复此楼
22楼2013-03-13 19:43:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wjscl2009

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
14楼: Originally posted by vidgay at 2011-12-25 18:43:46
丙酮超声清洗，然后用酒精清洗，去离子水冲洗，而后氮吹，烘干。
一般掩模版用一段时间都需要按上述步骤清洗，这样才会避免永久损伤

超声没有算坏掩膜板的条纹的危险吗？？
赞一下 回复此楼
23楼2014-02-15 19:16:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yuanxin5254

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
一般是这样的，用丙酮，酒精，超纯水
赞一下 回复此楼
24楼2014-04-17 13:01:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

1171354327

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
25楼: Originally posted by Mr.不太靠谱 at 2014-07-08 21:02:01
用饱和的NaOH溶液浸泡5min, 用去离子水冲洗，然后用50%浓硫酸泡5min,用去离子水冲洗 氮气吹干  这是掩膜板厂家提供的清洗方法

要是没有浓硫酸，能用其他的酸代替吗？
赞一下 回复此楼
26楼2018-01-16 19:56:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 newbeefans 的主题更新
261/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] [复试调剂]西南科技大学国防/材料导师推荐 +3 尖角小荷 2026-03-16 6/300 2026-03-16 23:21 by 尖角小荷
[考研] 085600调剂 +5 漾漾123sun 2026-03-12 6/300 2026-03-16 15:58 by 漾漾123sun
[考研] 344求调剂 +3 knight344 2026-03-16 3/150 2026-03-16 09:42 by 无际的草原
[考研] 085601材料工程315分求调剂 +3 yang_0104 2026-03-15 3/150 2026-03-15 10:58 by peike
[考研] 297一志愿上交085600求调剂 +5 指尖八千里 2026-03-14 5/250 2026-03-14 17:26 by a不易
[考研] 267一志愿南京工业大学0817化工求调剂 +5 SUICHILD 2026-03-12 5/250 2026-03-14 14:53 by jean5056
[考研] 调剂 +3 13853210211 2026-03-10 3/150 2026-03-14 00:47 by JourneyLucky
[考研] 312求调剂 +6 陌宸希 2026-03-10 6/300 2026-03-14 00:40 by JourneyLucky
[考研] 材料工程专硕，一志愿中国矿业大学，总分314，求调剂 +5 无懈可击的巨人 2026-03-10 5/250 2026-03-14 00:37 by JourneyLucky
[考研] 一志愿华中农业大学071010，总分三百二,求调剂 +3 困困困困坤坤 2026-03-10 3/150 2026-03-14 00:35 by JourneyLucky
[考研] 0805，333求调剂 +3 112253525 2026-03-10 3/150 2026-03-13 23:42 by JourneyLucky
[考研] 332求调剂 +3 zjy101327 2026-03-11 6/300 2026-03-13 22:48 by JourneyLucky
[考研] 26调剂/材料/英一数二/总分289/已过A区线 +6 步川酷紫123 2026-03-13 6/300 2026-03-13 21:59 by 星空星月
[考研] 315求调剂 +9 小羊小羊_ 2026-03-11 10/500 2026-03-13 21:13 by SXNU李老师
[考研] 26调剂/材料科学与工程/总分295/求收留 +9 2026调剂侠 2026-03-12 9/450 2026-03-13 20:46 by 18595523086
[考研] 293求调剂 +3 世界首富 2026-03-11 3/150 2026-03-13 16:27 by JourneyLucky
[考研] 土木第一志愿276求调剂，科研和技能十分丰富，求新兴方向的导师收留 +3 土木小天才 2026-03-12 3/150 2026-03-13 15:01 by JourneyLucky
[考研] 290求调剂 +3 ADT 2026-03-13 3/150 2026-03-13 10:19 by peike
[考研] 333求调剂 +3 152697 2026-03-12 4/200 2026-03-13 07:08 by Iveryant
[考研] 341求调剂 +4 捣蛋猪猪 2026-03-11 4/200 2026-03-12 14:47 by ruiyingmiao
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭