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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 【求助】光刻用的掩模板怎么清洗？
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newbeefans

木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】光刻用的掩模板怎么清洗？

掩模板用了很久了， 表面脏了（残余光刻胶、灰尘、指纹之类的）
请问用什么清洗啊, IPO？丙酮？
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1楼 2011-01-04 17:42:19
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vidgay

金虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
丙酮超声清洗，然后用酒精清洗，去离子水冲洗，而后氮吹，烘干。
一般掩模版用一段时间都需要按上述步骤清洗，这样才会避免永久损伤
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14楼2011-12-25 18:43:46
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