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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 掩膜板精度固定方法
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hufei_012

新虫 (初入文坛)

[求助] 掩膜板精度固定方法

大神们
我想把掩膜板贴到coms图像传感器上面（掩膜板的“点”与CMOS传感器的像素点一一对应起来），求好的方法？
谢谢
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1楼 2013-05-08 16:39:14
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
hufei_012: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2013-05-09 10:13:30
kunpeng1782: 金币+3, MN-EPI+1, 专家考核, 谢谢您的解答 2013-05-09 19:17:02
几乎不可能。
image sensor上是有color filter和micro lens的，是不能破坏和触碰的，如果掩模版上的点想和它对应，垂直方向上会有至少10～20um的距离。我猜你是想做自己的color filter，那么这个10～20um的距离，非常致命，你的滤光效率极差。

对准本身，也存在极大的困难。CIS的像素尺寸一般到1个多um了，而现有对准键合方法，也是这个精度水平。所以只能是碰运气了。

这里面有几个前提条件：
1. CIS的像素很大
2. CIS是黑白的，而且没有micro lens
3. 极其洁净的环境，保证粘贴过程中不被沾污。

你要做的东西，要花不少钱。老外做四色filter的CIS，都是在产线上做的。
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2楼2013-05-08 18:05:36
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hufei_012

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-05-08 18:05:36
几乎不可能。
image sensor上是有color filter和micro lens的，是不能破坏和触碰的，如果掩模版上的点想和它对应，垂直方向上会有至少10～20um的距离。我猜你是想做自己的color filter，那么这个10～20um的距离，非 ...

我不是想做color filter ，而是想在最外面贴一个掩膜来控制光通量。

cmos的三层（微透镜、滤色板、感光单元），我们在最外端贴上就行，最外端的微透镜阵列也是很难处理、需要距离、极其洁净的环境么？

谢谢啦！
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3楼2013-05-09 09:24:03
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by hufei_012 at 2013-05-09 09:24:03
我不是想做color filter ，而是想在最外面贴一个掩膜来控制光通量。

cmos的三层（微透镜、滤色板、感光单元），我们在最外端贴上就行，最外端的微透镜阵列也是很难处理、需要距离、极其洁净的环境么？

谢谢啦 ...

你需要提供如下数据
1. 掩模版上的像素尺寸
2. CIS上的像素尺寸
3. 允许的对准误差
4. 允许的键合材料
5. CIS的封装形式

我们都知道CIS在外面有一层玻璃，那层玻璃你是要打开吗？如果要打开，对于WLCSP封装的器件，有可能封装结构就会受损，器件就坏掉了。COB的封装形式，要看具体上面的玻璃位置。
微透镜阵列都是直接点胶的方法做在filter上的，很脆弱。所以一定要有距离。CIS封装的距离是40um，你再怎么做10um以下也很难达到。洁净更加是必须的，你的环境不好，颗粒多，像素失效的就多，器件就费了。
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4楼2013-05-09 15:12:18
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wuduyu

新虫 (初入文坛)
微透镜的制作工艺有纳米压印的方法，我理解你所需要的东西就是定制微透镜，使用未制作微透镜的芯片，在表面进行自行设计的微透镜纳米压印，通过控制透镜形貌来实现光通量控制，不知道贵兄的用途是什么，应该使用软件或者在光窗上进行处理也能解决一些问题。
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5楼2013-05-09 20:39:59
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by wuduyu at 2013-05-09 20:39:59
微透镜的制作工艺有纳米压印的方法，我理解你所需要的东西就是定制微透镜，使用未制作微透镜的芯片，在表面进行自行设计的微透镜纳米压印，通过控制透镜形貌来实现光通量控制，不知道贵兄的用途是什么，应该使用软件 ...

解决难题最忌讳的是引入另外一个难题来解决这个难题。所以，忘掉纳米压印吧。

软件的方法做光通量调节，是纯粹的图像处理，和photoshop没啥区别，楼主如果只是这么小儿科的需求，那整个思路上就很成问题了，开组会会被骂死的。
在盖板上做图形，如果是封装好的器件，还是一个几乎不可能完成的任务，不如做整片的wafer。

anyway，这都是一个非常贵的工艺。
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6楼2013-05-10 01:09:20
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