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[交流]
掩膜设计线间距最小经验值是多少
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本人mask小白，20um线宽，一般经验最小线间距可以是多少？ 低频模拟信号而已，不是高频数字信号。另外主要想知道设计数据，至于工艺方面，有足够的设备及材料，望高手们指点一二 [ Last edited by 竹林打铁 on 2012-12-9 at 10:33 ] |
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