应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 掩膜设计线间距最小经验值是多少
81/1返回列表
查看: 1127  |  回复: 7
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

竹林打铁

金虫 (正式写手)

[交流] 掩膜设计线间距最小经验值是多少

本人mask小白，20um线宽，一般经验最小线间距可以是多少？
低频模拟信号而已，不是高频数字信号。另外主要想知道设计数据，至于工艺方面，有足够的设备及材料，望高手们指点一二

[ Last edited by 竹林打铁 on 2012-12-9 at 10:33 ]
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

yswyx的关于光刻的各种回复

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2012-12-08 02:17:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
这个不是看你的设计的，而是看你的光刻机和光刻胶能力，以及工艺要求的。
假设这个间距是>20um，那么你的光刻机和光刻胶的分辨率都要小于20um。如果你的间距<20um，设为x微米，那么你的光刻机和光刻胶的分辨率要 有关的详细问题，你可以在我的专家贴中，或者短信和我交流。
赞一下 回复此楼
2楼2012-12-08 21:45:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

竹林打铁

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2012-12-08 06:45:19
这个不是看你的设计的，而是看你的光刻机和光刻胶能力，以及工艺要求的。
假设这个间距是>20um，那么你的光刻机和光刻胶的分辨率都要小于20um。如果你的间距<20um，设为x微米，那么你的光刻机和光刻胶的分辨 ...

您考虑的是工艺性能，我问的是设计参数
赞一下 回复此楼
4楼2012-12-10 01:36:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)
★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
竹林打铁: 金币+3 2012-12-10 23:50:21
引用回帖:
4楼: Originally posted by 竹林打铁 at 2012-12-10 01:36:57
您考虑的是工艺性能，我问的是设计参数...

低频模拟还有设计参数？两根线之间不击穿就ok了，这是和电压相关的，可平常谁做高压啊。所以没人关心这个问题。
赞一下 回复此楼
5楼2012-12-10 11:08:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

竹林打铁

金虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by yswyx at 2012-12-09 20:08:41
低频模拟还有设计参数？两根线之间不击穿就ok了，这是和电压相关的，可平常谁做高压啊。所以没人关心这个问题。...

哟西
回复此楼
6楼2012-12-10 23:50:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
简单回复
竹林打铁3楼
2012-12-09 00:54   回复  
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2012-12-08 06:45:19 这个不是看你的设计的，而是看你的光刻机和光刻胶能力，以及工艺要求的。 假设这个间距是&gt;20um，那么你的光刻机和光刻胶的分辨率都要小于20um。如果你的间距&lt;20um，设为x微米，那么你的光刻机和光刻胶的分辨 ...

渡轮7楼
2012-12-11 09:12   回复  
su-b088楼
2012-12-11 09:24   回复  
相关版块跳转 我要订阅楼主 竹林打铁 的主题更新
81/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭