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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 掩膜设计线间距最小经验值是多少
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竹林打铁

金虫 (正式写手)

[交流] 掩膜设计线间距最小经验值是多少

本人mask小白，20um线宽，一般经验最小线间距可以是多少？
低频模拟信号而已，不是高频数字信号。另外主要想知道设计数据，至于工艺方面，有足够的设备及材料，望高手们指点一二

[ Last edited by 竹林打铁 on 2012-12-9 at 10:33 ]
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1楼 2012-12-08 02:17:44
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
竹林打铁: 金币+3 2012-12-10 23:50:21
引用回帖:
4楼: Originally posted by 竹林打铁 at 2012-12-10 01:36:57
您考虑的是工艺性能，我问的是设计参数...

低频模拟还有设计参数？两根线之间不击穿就ok了，这是和电压相关的，可平常谁做高压啊。所以没人关心这个问题。
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5楼2012-12-10 11:08:41
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
这个不是看你的设计的，而是看你的光刻机和光刻胶能力，以及工艺要求的。
假设这个间距是>20um，那么你的光刻机和光刻胶的分辨率都要小于20um。如果你的间距<20um，设为x微米，那么你的光刻机和光刻胶的分辨率要 有关的详细问题，你可以在我的专家贴中，或者短信和我交流。
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2楼2012-12-08 21:45:19
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竹林打铁

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2012-12-08 06:45:19
这个不是看你的设计的，而是看你的光刻机和光刻胶能力，以及工艺要求的。
假设这个间距是>20um，那么你的光刻机和光刻胶的分辨率都要小于20um。如果你的间距<20um，设为x微米，那么你的光刻机和光刻胶的分辨 ...

您考虑的是工艺性能，我问的是设计参数
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4楼2012-12-10 01:36:57
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竹林打铁

金虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by yswyx at 2012-12-09 20:08:41
低频模拟还有设计参数？两根线之间不击穿就ok了，这是和电压相关的，可平常谁做高压啊。所以没人关心这个问题。...

哟西
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6楼2012-12-10 23:50:11
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竹林打铁3楼
2012-12-09 00:54   回复  
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2012-12-08 06:45:19 这个不是看你的设计的，而是看你的光刻机和光刻胶能力，以及工艺要求的。 假设这个间距是&gt;20um，那么你的光刻机和光刻胶的分辨率都要小于20um。如果你的间距&lt;20um，设为x微米，那么你的光刻机和光刻胶的分辨 ...

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