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hanxiao242

银虫 (正式写手)

[交流] SF6刻蚀硅片,可以用什么金属做掩膜? 已有5人参与

银?金?钽?铬?镍?还有就是,氧化铝行么,是不是厚了也不行,有人做过么?
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highpy

木虫 (知名作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
為甚麼不用光刻胶?
刻的很深嗎?
2楼2012-09-04 11:08:42
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hanxiao242

银虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by highpy at 2012-09-04 11:08:42
為甚麼不用光刻胶?
刻的很深嗎?

光刻的精度不够,我要纳米级的。
3楼2012-09-04 14:13:07
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highpy

木虫 (知名作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
不知道你用的金属有多厚,用什么金属,
我知道SF6刻蚀Al和Si 的选择比很高的,
4楼2012-09-04 14:32:54
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highpy

木虫 (知名作家)

Ag应该不行,我之前做过银的薄膜,根SF6会有反应
5楼2012-09-04 14:34:38
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hanxiao242

银虫 (正式写手)

引用回帖:
5楼: Originally posted by highpy at 2012-09-04 14:34:38
Ag应该不行,我之前做过银的薄膜,根SF6会有反应

恩,百度上也说不行,说银戒指要远离含硫的物质。
6楼2012-09-04 15:35:59
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yswyx

专家顾问 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
当然是用光刻胶,纳米级的就用好光刻胶嘛。金属还要转移一次,腐蚀出来边上像狗啃的一样,刻蚀的话和直接刻硅没啥区别。
7楼2012-09-18 19:27:03
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主宰撒哈拉

木虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
纳米级别就还是光刻胶吧,微米级别的用过铝。
8楼2013-07-22 09:54:12
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thermoelectric

木虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
8楼: Originally posted by 主宰撒哈拉 at 2013-07-22 09:54:12
纳米级别就还是光刻胶吧,微米级别的用过铝。

请问如果用铝做掩膜,最后的铝用什么去掉,谢谢
9楼2013-07-24 17:40:13
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主宰撒哈拉

木虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
有专用的Aluminum etchants 就是商业的混酸,也可以自己配制,用磷酸+硝酸+乙酸+水 的混合溶液。具体配比你可以自己google一下。
10楼2013-07-25 09:41:00
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