| 查看: 3483 | 回复: 10 | |||
hanxiao242银虫 (正式写手)
|
[交流]
SF6刻蚀硅片,可以用什么金属做掩膜？ 已有5人参与
|
| 银？金？钽？铬？镍？还有就是，氧化铝行么，是不是厚了也不行，有人做过么？ |
回复此楼» 猜你喜欢
0856材料306分调剂
已经有4人回复
-
北京航空航天大学26级博士招生-生物医学工程-合成生物学
已经有19人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有61人回复
-
温州大学王娟课题组2026年招生
已经有10人回复
-
温州大学2026年招生（化学、材料）
已经有10人回复
-
招生负责_院士团队_学生高自由度成长_擅长学生培养
已经有5人回复
-
温州大学招收2026年入学博士研究生（化学、材料、环境）
已经有10人回复
-
非晶合金
已经有2人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 求助关于用PECVD在硅片上生长SiO2的掩膜材料
已经有8人回复
- 硅片湿法刻蚀 怎么刻蚀不上啊？求救
已经有11人回复
- 可以用负胶做掩模刻蚀氮化硅吗？
已经有7人回复
- 【求助】氢氟酸刻蚀硅片，粗糙度是怎么变化的啊？
已经有16人回复
- 【求助】纳米级光刻掩膜板 ！！
已经有7人回复
- 【求助】以打印的胶片做曝光用的掩膜时会出现很多问题，该如何解决呢？
已经有4人回复
2楼2012-09-04 11:08:42
hanxiao242
银虫 (正式写手)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 360.8
- 散金: 202
- 红花: 3
- 沙发: 2
- 帖子: 962
- 在线: 376.8小时
- 虫号: 1056123
- 注册: 2010-07-12
- 专业: 无机材料化学
3楼2012-09-04 14:13:07
4楼2012-09-04 14:32:54
5楼2012-09-04 14:34:38
hanxiao242
银虫 (正式写手)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 360.8
- 散金: 202
- 红花: 3
- 沙发: 2
- 帖子: 962
- 在线: 376.8小时
- 虫号: 1056123
- 注册: 2010-07-12
- 专业: 无机材料化学
6楼2012-09-04 15:35:59
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.1
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
7楼2012-09-18 19:27:03
主宰撒哈拉
木虫 (小有名气)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 2825.6
- 帖子: 129
- 在线: 117.3小时
- 虫号: 218323
- 注册: 2006-03-13
- 性别: GG
- 专业: 微/纳机械系统
8楼2013-07-22 09:54:12
thermoelectric
木虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1850.3
- 散金: 47
- 红花: 1
- 帖子: 73
- 在线: 156.4小时
- 虫号: 412235
- 注册: 2007-06-25
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
9楼2013-07-24 17:40:13
主宰撒哈拉
木虫 (小有名气)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 2825.6
- 帖子: 129
- 在线: 117.3小时
- 虫号: 218323
- 注册: 2006-03-13
- 性别: GG
- 专业: 微/纳机械系统
10楼2013-07-25 09:41:00
20