| 查看: 3382 | 回复: 10 | |||
hanxiao242银虫 (正式写手)
|
[交流]
SF6刻蚀硅片,可以用什么金属做掩膜? 已有5人参与
|
| 银?金?钽?铬?镍?还有就是,氧化铝行么,是不是厚了也不行,有人做过么? |
» 猜你喜欢
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有300人回复
» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:
求助关于用PECVD在硅片上生长SiO2的掩膜材料
已经有8人回复
硅片湿法刻蚀 怎么刻蚀不上啊?求救
已经有11人回复
可以用负胶做掩模刻蚀氮化硅吗?
已经有7人回复
【求助】氢氟酸刻蚀硅片,粗糙度是怎么变化的啊?
已经有16人回复
【求助】纳米级光刻掩膜板 !!
已经有7人回复
【求助】以打印的胶片做曝光用的掩膜时会出现很多问题,该如何解决呢?
已经有4人回复
2楼2012-09-04 11:08:42
hanxiao242
银虫 (正式写手)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 360.8
- 散金: 202
- 红花: 3
- 沙发: 2
- 帖子: 962
- 在线: 376.8小时
- 虫号: 1056123
- 注册: 2010-07-12
- 专业: 无机材料化学
3楼2012-09-04 14:13:07
4楼2012-09-04 14:32:54
5楼2012-09-04 14:34:38
hanxiao242
银虫 (正式写手)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 360.8
- 散金: 202
- 红花: 3
- 沙发: 2
- 帖子: 962
- 在线: 376.8小时
- 虫号: 1056123
- 注册: 2010-07-12
- 专业: 无机材料化学
6楼2012-09-04 15:35:59
yswyx
专家顾问 (著名写手)
-

专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.1
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
7楼2012-09-18 19:27:03
主宰撒哈拉
木虫 (小有名气)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 2825.6
- 帖子: 129
- 在线: 117.3小时
- 虫号: 218323
- 注册: 2006-03-13
- 性别: GG
- 专业: 微/纳机械系统
8楼2013-07-22 09:54:12
thermoelectric
木虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1850.3
- 散金: 47
- 红花: 1
- 帖子: 73
- 在线: 156.4小时
- 虫号: 412235
- 注册: 2007-06-25
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
9楼2013-07-24 17:40:13
主宰撒哈拉
木虫 (小有名气)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 2825.6
- 帖子: 129
- 在线: 117.3小时
- 虫号: 218323
- 注册: 2006-03-13
- 性别: GG
- 专业: 微/纳机械系统
10楼2013-07-25 09:41:00













回复此楼