应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 工艺设计 » 求助关于用PECVD在硅片上生长SiO2的掩膜材料
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
91/1返回列表
查看: 2951  |  回复: 8
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

itsunami

禁虫 (初入文坛)
本帖内容被屏蔽

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2012-02-18 17:25:40
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

359528331

新虫 (初入文坛)
不懂。。。。。。。
回复此楼
gg
2楼2012-02-19 20:55:32
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kebaoyuan

禁言 (小有名气)
感谢参与，应助指数 +1
mjlyxm(金币+1): 感谢交流，非常期待您对工艺技术版更多的关注。O(∩_∩)O~ 2012-02-20 18:23:09
本帖内容被屏蔽
3楼2012-02-19 23:59:39
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kebaoyuan

禁言 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
4楼2012-02-20 00:01:22
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

大当家

铜虫 (小有名气)
★
mjlyxm(金币+1): 鼓励交流~~O(∩_∩)O~ 2012-03-08 19:48:08
我以前磁控溅射做薄膜的时候也是用铝箔纸做掩膜的，温度还400多呢，也没有事啊，你可以问问他为什么不可以啊，再问下LZ你们用的PECVD是什么品牌啊？因为我做PECVD销售呵呵，了解下



美国MV-System公司PECVD(等离子增强化学气相沉积)系统能够沉积高质量SiN、SiO、SiO2薄膜、Si3N4 薄膜、非晶硅、碳化硅、太阳能材料、类金刚石、类金刚石薄膜、硬质薄膜、光学薄膜等多种薄膜材料 和炭纳米管(CNT)等。可选用射频(RF)、空阴极高密度等离子体(HCD)源、感应耦合等离子体(ICP)源。该公司采用先进技术和稳定可靠的设计为您提供多方位的服务
赞一下 回复此楼
5楼2012-03-08 16:43:57
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400

【答案】应助回帖

★
3088: 金币+1, 鼓励参与交流,希望给工艺技术带来更多的交流帖子，o(∩_∩)o...！ 2012-06-27 16:44:52
PECVD 原则上不允许有金属污染，至于你说的掩模，个人认为不能用金属掩模板，工艺上是用光刻实现的
赞一下 回复此楼
6楼2012-06-27 16:36:56
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zzz1024604

新虫 (初入文坛)
用硅片档不知道可不可以，我们做石英片工艺有时候就用硅片档，但你是硅片工艺，不知道可不可以。
赞一下 回复此楼
7楼2012-08-17 10:58:27
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

冰蓝雨潇1314

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★
itsunami(zyz666888代发): 金币+2, 感谢应助！欢迎常来！ 2013-06-20 20:46:37
不知道你的工艺是怎么样的，但是，我做工艺时，都是做光刻，用光刻胶做掩膜，可将需要开窗口的地方刻蚀掉。
赞一下 回复此楼
8楼2013-06-20 16:28:05
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wangpeng1984

银虫 (初入文坛)
我觉得你可以直接尝试PECVD沉积SiO2 10000A(此厚度不会看不清下面图形，因此可以进行光刻)，然后拿到光刻间做电极图形，最后采用BOE刻蚀，刻蚀时间2分30秒-2分45秒左右，但是如果你的电极采用了AL，可能会造成掉电极，你可以推拉力尝试是否掉电极。
赞一下 回复此楼
9楼2014-03-11 14:50:03
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 itsunami 的主题更新
91/1返回列表
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 材料工程专硕求调剂 +11 hyl3153942 2026-03-29 11/550 2026-04-05 11:12 by 风雨无晴
[考研] 专硕310求调剂 +5 捞捞我…. 2026-04-04 6/300 2026-04-04 23:33 by barlinike
[考研] 材料调剂 +11 一样YWY 2026-04-02 13/650 2026-04-04 23:10 by 无际的草原
[考研] 数二 英语一，求调剂，本科学校福建农林大学 +3 五峰尖 2026-03-29 3/150 2026-04-04 23:10 by zhyzzh
[考研] 295求调剂 +4 A你好研究生 2026-04-04 5/250 2026-04-04 22:46 by yu221
[考研] 324求调剂 +14 想上学求调 2026-04-02 15/750 2026-04-04 20:31 by 无际的草原
[考研] 一志愿沪9，求生物学调剂，326分 +6 刘墨墨 2026-04-04 6/300 2026-04-04 19:44 by 唐沐儿
[考研] 292求调剂 +11 2022080213 2026-04-04 13/650 2026-04-04 18:38 by macy2011
[考研] 321求调剂 +13 认真求上学 2026-04-02 13/650 2026-04-04 18:23 by macy2011
[考研] 求调剂：085600材料与化工，考材科基，总分319 +21 678lucky 2026-03-31 26/1300 2026-04-04 16:22 by dongzh2009
[考研] 309求调剂 +4 快乐的小白鸽 2026-04-04 5/250 2026-04-04 15:55 by cql1109
[考研] 297求调剂 +11 ljy20040718！ 2026-04-03 13/650 2026-04-04 09:23 by 来看流星雨10
[考研] 295求调剂 +6 FZAC123 2026-04-03 6/300 2026-04-03 21:01 by zhq0425
[考研] 材料科学与工程339求调剂 +12 hyz0119 2026-03-31 13/650 2026-04-03 18:33 by ls刘帅
[考研] 数一英一285求调剂 +7 AZMK 2026-04-03 9/450 2026-04-03 13:03 by ms629
[考研] 一志愿厦门大学材料工程专硕354找调剂！！！ +8 贝呗钡钡 2026-03-30 8/400 2026-04-03 09:41 by hypershenger
[考研] 321求调剂 一志愿 浙江工业大学生物医药 +5 嘿嘿HC 2026-04-01 6/300 2026-04-02 15:23 by sophie2180
[考研] 348环境工程调剂 +3 吴彦祖24k 2026-04-01 3/150 2026-04-02 09:14 by nanaliuyun
[考研] 085600，321分求调剂 +13 大馋小子 2026-03-31 13/650 2026-04-01 12:35 by chemdavid
[考研] 085601一志愿西北工业大学初试346 +4 085601初试346 2026-03-30 4/200 2026-03-31 07:47 by jp9609
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭