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itsunami

禁虫 (初入文坛)

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wangpeng1984

银虫 (初入文坛)

我觉得你可以直接尝试PECVD沉积SiO2 10000A(此厚度不会看不清下面图形,因此可以进行光刻),然后拿到光刻间做电极图形,最后采用BOE刻蚀,刻蚀时间2分30秒-2分45秒左右,但是如果你的电极采用了AL,可能会造成掉电极,你可以推拉力尝试是否掉电极。
9楼2014-03-11 14:50:03
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359528331

新虫 (初入文坛)

不懂。。。。。。。
gg
2楼2012-02-19 20:55:32
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kebaoyuan

禁言 (小有名气)

感谢参与,应助指数 +1
mjlyxm(金币+1): 感谢交流,非常期待您对工艺技术版更多的关注。O(∩_∩)O~ 2012-02-20 18:23:09
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3楼2012-02-19 23:59:39
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kebaoyuan

禁言 (小有名气)

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4楼2012-02-20 00:01:22
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