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hanxiao242银虫 (正式写手)
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SF6刻蚀硅片,可以用什么金属做掩膜？ 已有5人参与
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| 银？金？钽？铬？镍？还有就是，氧化铝行么，是不是厚了也不行，有人做过么？ |
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