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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » SF6刻蚀硅片,可以用什么金属做掩膜？
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hanxiao242

银虫 (正式写手)

[交流] SF6刻蚀硅片,可以用什么金属做掩膜？ 已有5人参与

银？金？钽？铬？镍？还有就是，氧化铝行么，是不是厚了也不行，有人做过么？
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1楼 2012-09-04 10:18:02
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
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当然是用光刻胶，纳米级的就用好光刻胶嘛。金属还要转移一次，腐蚀出来边上像狗啃的一样，刻蚀的话和直接刻硅没啥区别。
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7楼2012-09-18 19:27:03
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highpy

木虫 (知名作家)
★
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為甚麼不用光刻胶？
刻的很深嗎？
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2楼2012-09-04 11:08:42
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hanxiao242

银虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by highpy at 2012-09-04 11:08:42
為甚麼不用光刻胶？
刻的很深嗎？

光刻的精度不够，我要纳米级的。
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3楼2012-09-04 14:13:07
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highpy

木虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
不知道你用的金属有多厚，用什么金属，
我知道SF6刻蚀Al和Si 的选择比很高的，
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4楼2012-09-04 14:32:54
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