应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 寻找掩膜材料，提高深宽比
91/1返回列表
查看: 2044  |  回复: 8
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

hflyover

铜虫 (初入文坛)

[求助] 寻找掩膜材料，提高深宽比

小弟尽量言简意赅--
1,寻找合适的材料做掩膜，详情如下:
目的：掩膜附在多晶硅片表面，激光烧蚀掩膜形成圆孔状窗口，酸液从窗口腐蚀硅片形成小坑，从而降低反射率。
要求：抗蚀性，掩膜不会被酸液腐蚀；
          粘附性，减缓坑侧壁的腐蚀速度，提高深宽比。

2,有什么措施能提高深宽比?有资料说搅拌加速流动能提高刻蚀深度，大家有什么经验？
3，有谁做过蒸镀掩膜的，均匀性怎么保证
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

微纳机械（机电系统&器件）加工-MEMS/NEMS 微纳尺度全分析 天籁之音

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2011-12-10 18:17:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

khjxy

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
一般做掩膜的材料有：二氧化硅（氮化硅）、光刻胶、金属薄膜如Ni，Au等
赞一下 回复此楼
2楼2011-12-11 20:06:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kebaoyuan

禁言 (小有名气)
感谢参与，应助指数 +1
lchpy: 版内不允许回复广告信息,如果有需要,您可以私下站内联系楼主~ 谢谢理解~ 2011-12-12 08:06:49
本帖内容被屏蔽
3楼2011-12-11 20:50:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hflyover

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
楼: Originally posted by khjxy at 2011-12-11 20:06:39:
一般做掩膜的材料有：二氧化硅（氮化硅）、光刻胶、金属薄膜如Ni，Au等

二氧化硅我也想试试啊，但是好像不能作为腐蚀的掩膜，采用化学方法，能腐蚀硅片的腐蚀剂似乎都能腐蚀二氧化硅啊。有没有合适的腐蚀剂呢？
赞一下 回复此楼
4楼2011-12-11 22:42:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hflyover

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
楼: Originally posted by kebaoyuan at 2011-12-11 20:50:08:
我们是专业制作掩膜板的公司，最小做过0.01mm开口的掩膜板.
你可以参考我们发布的广告贴：
http://muchong.com/bbs/viewthread.php?tid=3665658
我们掩膜板制作主要工艺为激光切割，通过电脑控制激光 ...

谢谢关注，我使用激光制作掩膜窗口，暂时不需要掩膜版
赞一下(1人) 回复此楼
5楼2011-12-11 22:43:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kebaoyuan

禁言 (小有名气)
★
lchpy(金币+1): thanks for your information 2011-12-12 08:07:10
本帖内容被屏蔽
6楼2011-12-12 07:43:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hflyover

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
楼: Originally posted by kebaoyuan at 2011-12-12 07:43:40:
蚀刻有一种干膜，可能达到你的要求,可参考：
http://baike.baidu.com/view/2221891.htm

杜邦的是不错的，你可以联系一下他们。药水他们可能也能给你些建议。

谢谢啦
回复此楼
7楼2011-12-12 11:25:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

damuchongzi

铁杆木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
问题表达的不清楚啊。确定是多晶硅片？既然是降低反射率又想保证深宽比，为什么不考虑用干法刻蚀和电化学腐蚀呢？PVD做hardmask均匀性是没有问题的，再说你只是用它做掩模只要选择比足够高，有必要担心均匀性么？
赞一下 回复此楼
8楼2011-12-14 13:55:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hflyover

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
楼: Originally posted by damuchongzi at 2011-12-14 13:55:04:
问题表达的不清楚啊。确定是多晶硅片？既然是降低反射率又想保证深宽比，为什么不考虑用干法刻蚀和电化学腐蚀呢？PVD做hardmask均匀性是没有问题的，再说你只是用它做掩模只要选择比足够高，有必要担心均匀性么？

你好，谢谢关注。
我试验方法限制在化学方法。
确定是多晶硅片。
经你提醒我也觉得均匀性不是主要的问题。那么目前的问题就是掩膜的封闭性了，我一直是用石蜡等油脂溶解后涂在硅片表面，溶剂挥发后形成一层掩膜。但是激光刻蚀出窗口之后，用HF+HNO腐蚀硅片，掩膜封闭性很不好啊，没有刻蚀的地方也与酸液反应冒出气泡。
目前也用PECVE做了SiN掩膜，还在摸索中。
赞一下 回复此楼
9楼2011-12-14 14:26:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 hflyover 的主题更新
91/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考博] 环境领域全国重点实验室招收博士1-2名 +3 QGZDSYS 2026-03-13 3/150 2026-03-18 00:13 by PY-Hzb
[考研] 材料专硕306英一数二 +8 z1z2z3879 2026-03-16 10/500 2026-03-18 00:01 by 星空星月
[考研] 材料，纺织，生物（0856、0710），化学招生啦 +3 Eember. 2026-03-17 7/350 2026-03-17 20:20 by 花125533
[考研] 268求调剂 +8 一定有学上- 2026-03-14 9/450 2026-03-17 17:47 by laoshidan
[考研] 312求调剂 +4 陌宸希 2026-03-16 5/250 2026-03-17 17:09 by ruiyingmiao
[考研] 274求调剂0856材料化工 +13 z2839474511 2026-03-11 14/700 2026-03-17 16:51 by share_joy
[考研] 085600材料与化工求调剂 +5 绪幸与子 2026-03-17 5/250 2026-03-17 16:40 by laoshidan
[考研] 求调剂，总分315，考的生物医药，一志愿湖南师范大学。调剂到任何专业都可以 +4 小丁想进步 2026-03-11 5/250 2026-03-17 16:05 by 外星文明
[考研] 290求调剂 +6 孔志浩 2026-03-12 11/550 2026-03-17 14:41 by 周舟舟77
[考研] 材料与化工专硕调剂 +5 heming3743 2026-03-16 5/250 2026-03-17 14:03 by 勇敢太监王公公
[考研] 211本，11408一志愿中科院277分，曾在中科院自动化所实习 +6 Losir 2026-03-12 7/350 2026-03-17 12:09 by danranxie
[论文投稿] 有没有大佬发小论文能带我个二作 +3 增锐漏人 2026-03-17 4/200 2026-03-17 09:26 by xs74101122
[考研] 0703化学调剂 +6 妮妮ninicgb 2026-03-15 9/450 2026-03-16 16:40 by houyaoxu
[考研] 070303 总分349求调剂 +3 LJY9966 2026-03-15 5/250 2026-03-16 14:24 by xwxstudy
[考研] 材料与化工一志愿南昌大学327求调剂推荐 +7 Ncdx123456 2026-03-13 8/400 2026-03-16 12:15 by karry wen
[考研] 289求调剂 +4 这么名字咋样 2026-03-14 6/300 2026-03-14 18:58 by userper
[考研] 0703，333分求调剂 一志愿郑州大学-物理化学 +3 李魔女斗篷 2026-03-11 3/150 2026-03-13 22:24 by JourneyLucky
[考研] （081700）化学工程与技术-298分求调剂 +12 11啦啦啦 2026-03-11 35/1750 2026-03-13 21:25 by JourneyLucky
[考研] 311求调剂 +3 冬十三 2026-03-13 3/150 2026-03-13 20:41 by JourneyLucky
[考研] 314求调剂 +7 无懈可击的巨人 2026-03-12 7/350 2026-03-13 15:40 by JourneyLucky
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭