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hflyover铜虫 (初入文坛)
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[求助]
寻找掩膜材料，提高深宽比
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小弟尽量言简意赅-- 1,寻找合适的材料做掩膜，详情如下: 目的：掩膜附在多晶硅片表面，激光烧蚀掩膜形成圆孔状窗口，酸液从窗口腐蚀硅片形成小坑，从而降低反射率。 要求：抗蚀性，掩膜不会被酸液腐蚀； 粘附性，减缓坑侧壁的腐蚀速度，提高深宽比。 2,有什么措施能提高深宽比?有资料说搅拌加速流动能提高刻蚀深度，大家有什么经验？ 3，有谁做过蒸镀掩膜的，均匀性怎么保证 |
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2楼2011-12-11 20:06:39
感谢参与，应助指数 +1
lchpy: 版内不允许回复广告信息,如果有需要,您可以私下站内联系楼主~ 谢谢理解~ 2011-12-12 08:06:49
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3楼2011-12-11 20:50:08
hflyover
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5楼2011-12-11 22:43:06
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lchpy(金币+1): thanks for your information 2011-12-12 08:07:10
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6楼2011-12-12 07:43:40
hflyover
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9楼2011-12-14 14:26:30